Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487 zu verkaufen
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NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel gehört zu den neuesten Ergänzungen der Concept 2 Speed Reihe von Reaktoren von NOVELLUS. Es richtet sich an den fortschrittlichen Halbleiterherstellungssektor, der einfache und kostengünstige Verbesserungen der Waferprozessfähigkeit ermöglicht. CONCEPT 2 Speed Sequel wurde entwickelt, um Anwendern höhere Durchsatzraten als herkömmliche Einzelwafer-Werkzeugarchitektur zu bieten und gleichzeitig eine überlegene Kontrolle und wiederholbare Prozessleistung auch bei sehr hohen Wafergeschwindigkeiten zu bieten. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel baut auf den Fähigkeiten des ursprünglichen Concept 2 Speed Tools auf und bietet zwei unterschiedliche Prozesssteuerungsstufen. Dazu gehören hochauflösende Schichtbildgebung, Echtzeit-Kammermanagement und eine enge Prozessüberwachung für eine breite Palette fortschrittlicher Materialprozesse. Der Reaktor basiert auf der Concept 2 Speed-Architektur mit einer UV Photo-Assisted CVD (PECVD) Prozesskammer und Gasförderausrüstung. Es ist in der Lage, die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke über die Waferoberfläche genau zu steuern und liefert bei hohen Wafergeschwindigkeiten hervorragende Produktionsausbeuten. Das einzigartige Design von CONCEPT 2 Speed Sequel rüstet das System mit einer effizienten Gasabschirmungstechnologie aus, die einen hervorragenden Schutz bietet, um die Seitenwandoxidation und die Plasmakupplung des Prozesses zu verhindern. Der Reaktor verfügt auch über eine erweiterte Reglereinheit, die einfach programmiert werden kann, um komplexe mehrstufige Prozesse mit minimalem Aufwand abzuschließen. Die fortschrittliche Steuerungsmaschine kann mit benutzerdefinierten Parametern voreingestellt werden und das Werkzeug kann Rezepte mit außergewöhnlicher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Erträgen ausführen. Um weitere Flexibilität zu bieten, verfügt NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel über eine In-situ-Überwachungs- und Analysefähigkeit, die die Reaktorumgebung und den Waferprozess in Echtzeit überwachen kann. Dies trägt dazu bei, einen konsistenten Prozess über verschiedene Wafer zu gewährleisten und Prozessvariationen zu verhindern. Abschließend ist CONCEPT 2 Speed Sequel ein effizienter und zuverlässiger Reaktor, der den Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterproduktion gerecht wird. Es ist in der Lage, Anwendern eine hohe Flexibilität, Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit sowie verbesserte Durchsatzraten und ausgezeichnete Erträge zu bieten.
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