Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink #9294359 zu verkaufen

Ein NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink ist eine Art Hochgeschwindigkeits-PVD-Reaktor (High-Performance Physical Vapor Deposition), der in Halbleiter- und verwandten Fertigungsindustrien eingesetzt wird. Es ist in der Lage, mehrere Folien abzulegen, die für die Verbindung, Geräteherstellung und Geräteschutz verwendet werden. Der Concept 2 Reaktor ist ein optisch und mechanisch fortschrittliches, „schwimmendes“ Kammerdesign, das ultrasteife dynamische Kammerkomponenten verwendet, um Vibrationen zu reduzieren und den Durchsatz zu maximieren. Das Concept 2 verwendet eine fortschrittliche PVD-Folienabscheidung, die die Abscheidung von Aluminium-, Wolfram- und Kupferfolien in einem Werkzeug ermöglicht. Der Bediener ist in der Lage, die Abscheiderate, die Zieldicke und die Schichtzusammensetzung einzustellen, was wiederholbare und zuverlässige Folien ermöglicht. Darüber hinaus kann das Concept 2 eine breite Palette von Folien herstellen, wie Oxide, Nitride und Metallsilizide. Für eine verbesserte Folieneinheitlichkeit verwendet das Concept 2 ein fortschrittliches spulengekoppeltes Magnetronsystem. Diese Einheit verwendet zwei Magnetrons, eines, um das Sputterplasma zu erzeugen und das andere, um die Elektronen in der Kammer zu neutralisieren, was zu gleichmäßigen Filmen mit geringer Partikelbildung führt. Darüber hinaus nutzt das Concept 2 fortschrittliche interne Prozesskontrollen, um Rezept-Tuning und Prozessoptimierung zu ermöglichen. Das Concept 2 Design verfügt über eine Infrarot-Laserlappmaschine zur überlegenen Substratausrichtung. Dieses Werkzeug kann die Oberflächentürme des Wafers 10 μ m der Konstruktionsebene genau einstellen. Das Asset verfügt auch über erweiterte Wafer-Catering-Funktionen, so dass bis zu 10 verschiedene Filme in einem Prozesslauf gestapelt werden können. Die Verfahrensparameter können je nach Abscheidung der jeweiligen Folien eingestellt werden, wodurch sich wiederholende Dicken und Zusammensetzungen ergeben. Im Hinblick auf die Sicherheitsmerkmale verfügt NOVELLUS Concept 2 über eine Sprühkabine, die das Kammergas abschaltet, wenn das Steuermodell einen gefährlichen Druckaufbau bemerkt. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein aggressives Wäschersystem, um eine sichere Emission potenziell schädlicher Partikel zu gewährleisten. Darüber hinaus können die Prozessgase in getrennten Zweigen isoliert und überwacht werden, um eine einfache Wartung zu gewährleisten. Insgesamt ist CONCEPT 2 Speed Shrink Reaktor ein fortschrittliches PVD-Werkzeug, das mehrere Filme mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit abscheiden kann. Es ist ein Schlüsselwerkzeug in Halbleiter- und verwandten Fertigungsindustrie für seine Fähigkeit, Hochleistungsfolien mit überlegenen Sicherheitsmerkmalen zu produzieren.