Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #293600182 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist ein Hochleistungs-Mehrkammer-, Mehrzonen-CVD-Prozessreaktor (Chemical Vapor Deposition). Es ist eines der fortschrittlichsten Abscheidefähigkeiten von NOVELLUS Systems und auch einer seiner vielseitigsten Reaktoren mit der Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien abzulegen. Es verfügt über eine integrierte Zeit-Temperatur-Profil-Steuerung Ausrüstung, so dass Benutzer leicht das Abscheidungsprofil entsprechend ihren Bedürfnissen zu ändern. CONCEPT 2 Speed hat die Fähigkeit, sowohl Polymere als auch Metalle abzuscheiden und kann Substrate mit einer Größe von bis zu neun Zoll aufnehmen. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed CVD Prozessreaktor besteht aus zwei parallelen Reaktionskammern mit jeweils zwei Stufen. Die erste Stufe ist die Abscheidezone, in der die Abscheidung von Materialien erfolgt. In die Bearbeitungskammer werden Materialien eingebracht und auf ihre optimale Abscheidetemperatur erwärmt. Der heiße Dampf fährt dann in die zweite Stufe der Kammer, die als Reaktionszone bezeichnet wird. In der zweiten Verfahrensstufe erfolgt die notwendige chemische Reaktion für das gewünschte Ergebnis. CONCEPT 2 Speed Prozessreaktor hat eine Reihe von erweiterten Funktionen, die es zu einem effizienten und effektiven Werkzeug für die Abscheidung machen. Das Hochgeschwindigkeits-Substratdrehsystem erhöht nicht nur die Gleichmäßigkeit der Kammertemperatur, sondern gewährleistet auch eine gleichmäßige Abscheidungsdicke über das Substrat. Das patentierte multizonale thermische Gleichmäßigkeitsmerkmal verbessert die Dickengleichförmigkeit weiter und reduziert auch die Möglichkeit von thermischen Gradienten auf der Substratoberfläche. Der Reaktor verfügt auch über eine Vielzahl von Prozesssteuerungsmöglichkeiten, wie Sauerstoff-, Inert- und Stickstoffkontrollen, die weiterhin eine maximale Abscheidungsqualität und Lebensdauer der Ausrüstung gewährleisten. Darüber hinaus ist NOVELLUS CONCEPT 2 Speed für den Einsatz mit fortschrittlichen Reinigungs- und vorbeugenden Wartungssystemen konzipiert, um maximale Betriebseffizienz und Betriebszeit zu gewährleisten. Der Reaktor integriert eine Zwei-Zonen-Ätzeinheit, die die Verunreinigungsmöglichkeit verringern und die Prozessfensterleistung maximieren soll. Die SmartPump läuft unter atmosphärischem Druck, was die Sicherheit erhöht und gleichzeitig Verunreinigungen durch Öl- und Gasaustritt beseitigt. CONCEPT 2 Speed ist eine fortschrittliche Abscheidemaschine, die vielseitig, anpassungsfähig und zuverlässig ist. Die integrierten Funktionen sorgen für einen konsistenten Abscheideprozess und qualitativ hochwertige Ergebnisse. Es ist ein leistungsfähiges Werkzeug sowohl für F&E als auch für Produktionsumgebungen und wird sicherlich zu den Prozessen jedes Unternehmens beitragen.