Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9093692 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed (C2S) ist ein Zweikammer-CVD-Reaktor, der speziell für die Abscheidung von dünnen Schichten für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es wird verwendet, um Metalle und Verbindungen wie Silizium, Wolfram und Nitride auf integrierte Schaltungen oder ICs abzuscheiden. Das C2S wurde entwickelt, um Anwendern ein zuverlässiges, hochleistungsfähiges Tool zur Verfügung zu stellen, das speziell auf die fortschrittliche Prozessoptimierung zugeschnitten ist. Der C2S Reaktor weist zwei Kammern auf, die durch eine Trennwand getrennt sind, und verwendet eine chemische Dampfeinspritzeinrichtung, um Reaktanden in die Verarbeitungskammer einzubringen. Die beiden Kammern sind so ausgelegt, dass sie bei unterschiedlichen Drücken, Temperaturen und Strömungsgeschwindigkeiten gleichzeitig arbeiten. Dies ermöglicht die Optimierung aller zur Erzielung der gewünschten Dünnschichtabscheiderate und Gleichmäßigkeit der Abdeckung notwendigen Parameter. Das C2S verwendet ultrahochreines Argon, um die Kammer unter Druck zu setzen und den glatten Gasfluss zu fördern, sowie ein erwärmtes (2200 ° C) Substrat und ein Suszeptorsystem, um die höchsten Abscheidungsraten zu erreichen. Das Gerät ist äußerst präzise ausgelegt, wobei die Prozesssteuerung an mehreren Stellen vorgesehen ist, um die höchste Gleichmäßigkeit auf der Substratoberfläche zu gewährleisten. Eine computergesteuerte Steuerung ermöglicht es Benutzern, die Druck-, Temperatur- und Durchflussparameter bei Bedarf einfach zu überwachen und anzupassen. Das C2S ist mit mehreren fortschrittlichen Technologien ausgestattet, um den Prozess zu verbessern, einschließlich NOVELLUS Close Space Sublimation (CSS) Technologie. Diese Technologie ermöglicht es Benutzern, mehrere Schichten Wolfram und andere feuerfeste Metallfolien mit einer höheren Abscheidungsrate als herkömmliche CVD-Prozesse direkt abzuscheiden. Außerdem entfällt die Notwendigkeit von Ätzschritten, was sowohl zu geringeren Kosten als auch zu kürzeren Zykluszeiten führt. Darüber hinaus kann die C2S in NOVELLUS Endura CVD Machine integriert werden, die eine gleichmäßige Abdeckung bei höheren Abscheideraten mit verbesserter Prozesskontrollgenauigkeit ermöglicht. Dieses Tool ermöglicht es Benutzern auch, die Abscheideparameter und -prozesse in Echtzeit zu überwachen, zu steuern und zu optimieren, was zu einer besseren Fehlerkontrolle und Ertragssteigerungen führt. Das hohe Preis/Leistungsverhältnis und die anpassbaren Funktionen des C2S machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette fortschrittlicher Fertigungsanwendungen. Die hinzugefügte Prozesssteuerung ermöglicht es Benutzern, das Asset mit höheren Geschwindigkeiten auszuführen und gleichzeitig die gewünschte Gleichmäßigkeit auf der Substratoberfläche beizubehalten. Mit seinen zuverlässigen Leistungsmerkmalen und Anpassungsfunktionen bietet CONCEPT 2 Speed Reaktor Anwendern eine effiziente und kostengünstige Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Dünnschichtgeräte.