Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9140633 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed
Reaktoren
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Speed
ID: 9140633
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Systems, 8" (3) Chambers Wafer shape: flat PET Module Module A: Shrink Process A: STI / IMD Module C: Shrink Process C: STI / IMD System UPS power Module B: Shrink Process B: STI / IMD Loadlock dry pump: LOT 105 Slit valve insert Slit valve type: SMC L-Motion TM dry pump model: LOT 105 Loadlock baratron: MKS TM Turbo pump: PFEIFFER TMH260 TM Throttle valve: MKS TM Baratron model: MKS Wafer sensor Fab installation EMO's (Turn to release) Front monitor: Stand alone UI rack Signal tower Module controller: MC1 Host interface: SECS Module A: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module B: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module C: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Power supply: 3￠, 5 Wires, 208V 2000 vintage.
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NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist eine CVD-Reaktorausrüstung, die für den Bau konformer Dünnschichten auf großen Substraten ausgelegt ist. Das System wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und eine überlegene Prozesskontrolle über die gesamte Substratoberfläche bereitzustellen. CONCEPT 2 Speed Reaktor nutzt einen modularen Aufbau, der es Anwendern ermöglicht, ihre Abscheidesysteme optimal an ihre genauen Anforderungen anzupassen. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor verfügt über eine Niederdruck-CVD-Kammer, die mit einem einzeiligen Einpass-Duschkopf ausgestattet ist. Der Duschkopf ist in der Lage, Chemikalien schnell und gleichmäßig auf das gesamte Substrat zu verteilen. Diese effiziente Gasverteilungstechnik hilft, Kanteneffekte zu eliminieren und bietet eine gleichmäßige, homogene Abscheiderate über die gesamte Oberfläche. CONCEPT 2 Speed wird nur mit der hochwertigsten Ausrüstung konstruiert. Es wurde entwickelt, um die strengsten Qualitätskontrollanforderungen zu erfüllen und einen präzisen und wiederholbaren Abscheideprozess zu gewährleisten. Das Gerät ist zudem hocheffizient konzipiert und ermöglicht es Benutzern, mehr Metallisierungsfolien schneller und mit weniger Material herzustellen, was Zeit und Geld spart. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor umfasst eine fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine, die die Prozessleistung und Prozessausbeute maximiert. Dieses Tool verfügt über ein zuverlässiges Multi-Parameter-Prozesssteuerungsmodul sowie intuitive Benutzeroberflächen. Zusätzlich kann das Asset für Fernüberwachung, Mehrkammer-Synchronisation und Echtzeit-Ertragsverwaltung konfiguriert werden. CONCEPT 2 Speed eignet sich hervorragend für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie der Mikroelektronik und der Produktion von Solarpaneelen. Das Modell ist in bestehende NOVELLUS Foundry-Lösungen integrierbar und bietet Anwendern eine einzige Quelle für alle ihre Ablagerungsanforderungen. Das fortschrittliche Kammerdesign und die Prozesssteuerung des NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktors bieten Anwendern eine überlegene konforme Dünnschichtabscheidung, die in hohem Maße wiederholbar und effizient ist.
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