Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor ist ein fortschrittliches, vielseitiges CVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), das zur Herstellung von Halbleiterbauelementschichten in der Hochvolumenfertigung verwendet wird. Es ist in der Lage, Substrate bis zu einer Größe von 350 mm zu verarbeiten, einschließlich fortschrittlicher MPU und Hochleistungstransistor-Designs. CONCEPT 2 Speed Reaktor von NOVELLUS verfügt über eine flexible, Mehrstationsarchitektur, die einen hohen Durchsatz und niedrige Kosten pro Werkzeugproduktion ermöglicht. Der Reaktor schließt einen Doppelreaktor, Doppelsubstratverarbeitungsanlage ein, die gleichzeitige Vorderseite und Hinternverarbeitung von großen 300 und 350 Mm-Oblaten ermöglicht. Es verfügt zudem über einen umfassenden Wafer-Handhabungsmechanismus, der einen schnellen Transfer zwischen Bearbeitungsstationen ermöglicht. Der Reaktor verwendet fortschrittliche Abscheidungsprozesse und ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Wasserstoff Silsesquioxan (HSQ), Polysilizium und Silikatglas. Es wurde entwickelt, um eine optimale Temperaturgleichförmigkeit und eine präzise Schichtdickensteuerung im gesamten Substrat zu gewährleisten. Die Plattform nutzt den Niederdruck-Hochdruckmodus, um die unerwünschten Auswirkungen zu hoher Heizraten zu minimieren und wiederholbare Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. Weiterhin werden die Vertikalausrichter und Nachausrichter zur Substrathandhabung und Positionierung in der Reaktorkammer eingesetzt. Der Reaktor enthält ein Vakuumsystem, das in der Lage ist, ein hohes Vakuumniveau zu erreichen und es über einen langen Zeitraum aufrechtzuerhalten, wodurch ein zuverlässiger und wiederholbarer CVD-Prozess gewährleistet ist. Die Pumpeinheit ist mit einer integrierten Fangmaschine ausgestattet, die Partikel aus der Kammer entfernt und eine saubere Ätzverarbeitung ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist auf höchste Zuverlässigkeit und maximalen Produktionsdurchsatz ausgelegt. Es verfügt über eine umfassende Reihe von Überwachungs-, Feedback- und Fehlerschutzfunktionen, die eine nahtlose Integration der Plattform in eine Produktionslinie ermöglichen. Der Reaktor ist weiter mit einem fortschrittlichen elektrostatischen Spannfutter (ESC) ausgestattet. Diese ermöglichen eine präzise Waferspannung bei Waferstufen mit extrem niedrigen Spannungswerten. CONCEPT 2 Speed ist mit einem Datenlogging-Tool ausgestattet, das Nutzern wertvolle Daten bereitstellen kann. Die Protokollierung erfasst Ertrag, Prozessverlauf, Rezeptentwicklung, Fehlerdaten und andere Schlüsselparameter und unterstützt die Optimierung von Ertrag und Durchsatz. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ein fortschrittlicher CVD-Reaktor, der für eine volumenstarke, kostengünstige und wiederholbare Abscheideverarbeitung entwickelt wurde. Es ist mit umfassenden Wafer-Handhabungs- und Überwachungssystemen ausgestattet, die eine zuverlässige nachgeschaltete Verarbeitung und einen hohen Durchsatz ermöglichen. Der Reaktor bietet saubere Ätzprozesse und ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, von Silsesquioxan-Wasserstoff bis Silikatglas.