Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146625 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Speed
ID: 9146625
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
System, 8" (3) Chambers 2000 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor ist ein spezialisiertes Gerät, das entwickelt wurde, um die Geschwindigkeit von Halbleiterherstellungsprozessen zu erhöhen und gleichzeitig die Konsistenz des Endprodukts zu verbessern. Dieses Gerät wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen wie integrierten Schaltungen, Speicher und anderen anspruchsvollen elektronischen Bauelementen eingesetzt. CONCEPT 2 Speed Reaktor verfügt über ein einzigartiges Design, das höchstmögliche Fab-Raten für die beste Zykluszeit ermöglicht und gleichzeitig die Kontamination auf ein Minimum reduziert. Es handelt sich um eine zweizonige Hochtemperaturdiffusionskammer mit unabhängig beheizten Glüh- und Abscheidezonen. Die Abscheidezone hält das Substrat auf einem von zwei als „Substrataufzug“ bezeichneten Aufzügen, die das Substrat auf einen Temperaturbereich von bis zu 850 ° C heben und eine präzise Abscheidung der gewünschten Metalle und Materialien ermöglichen. Die Glühzone umfasst ein Drehfutter, das sich schnell dreht und verschiedene Metalle und andere Materialien mit Hilfe der Induktionsofentechnik miteinander vermischt. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor beinhaltet eine spezialisierte Hard- und Softwareplattform namens „Multi-System Interface“. Diese Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, verschiedene Parameter wie Temperaturen, Gasfluss, Druck, Turbulenzen und andere Faktoren zu steuern, zu überwachen und anzupassen. Die Multisystem-Schnittstelle ermöglicht es dem Anwender auch, Rezepte anzupassen, den Reaktionsprozess zu überwachen und Rückmeldungen über den Status der Reaktion zu erhalten. Neben den fortschrittlichen Hardware- und Softwarekomponenten verfügt der CONCEPT 2 Speed Reaktor über ein spezialisiertes Gasfördersystem, das Helium, Argon, Stickstoff, Wasserstoff, Vakuum und andere Spezialgase verwendet, um Diffusions- und Abscheidungsprozesse innerhalb der Kammer zu optimieren. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reaktor ist eine ideale Lösung für viele verschiedene Fertigungsanforderungen aufgrund seiner Fähigkeit, eine schnelle Zykluszeit und hohe Fab-Rate zu erreichen. Darüber hinaus ist der Reaktor so ausgelegt, dass er sauber arbeitet, ohne dass Partikel die Siliziumscheiben und -komponenten verunreinigen. Es ist auch sehr effizient, mit weniger Rohstoffen und Energie, um das gleiche Maß an Herstellung im Vergleich zu anderen ähnlichen Reaktoren zu erreichen.
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