Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9189030 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist ein fortschrittlicher Halbleiterverarbeitungsreaktor, der Ultrahochvakuum (UHV) -Technologie zur präzisen Dünnschichtabscheidung verwendet. Dieser Reaktor wird typischerweise in Halbleiterherstellungsanlagen verwendet, um komplizierte Strukturen auf mikroskopischer Ebene zu schaffen. Eine der primären konstruktiven Komponenten des Reaktors ist seine patentierte RF-Energiequelle, die in der Lage ist, die Abscheiderate und Dicke der abgeschiedenen Schichten auf extreme Genauigkeit zu steuern. Der Reaktor beherbergt auch eine Vielzahl weiterer Komponenten, die eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses erleichtern und die Produktion nach den vom Kunden geforderten genauen Vorgaben erleichtern. CONCEPT 2 Speed Reaktor nutzt einen 40 cm Durchmesser, Tiegelkammer, die den UHV-Raum enthält, einen Satz von Heizwendeln, und verschiedene Gaseinlass- und Abgasöffnungen. Die Kammer ist von zwei Niederdruckzonen und einer Hochdruckzone umgeben, die dem Hohlsubstrathalter reaktive Gase zuführt. Dieser Halter ist auch mit Widerstandsheizschwänzen und Faraday Käfigen ausgestattet, die eine präzise Abscheidung von Materialien mit totaler Kontrolle über die Ionenstrahlenergie gewährleisten. Die Energieversorgungseinrichtung für den Reaktor ist auch in der Lage, genaue HF-Energie für erwärmte, inerte Gas- und Reaktivgasabscheidungsprozesse zu liefern. Dieses System kann bis zu 500 kW HF-Leistung liefern und wird durch Software unter Verwendung von Echtzeit-Feedback aus dem Prozess gesteuert. Zusätzlich werden mit NOVELLUS Concept 2 Water Speed gepulste Sortertechniken für Ionenstrahlätzungen, selektive Strukturierung und andere Verfahren eingesetzt, die mit anderen Reaktoren nicht verfügbar sind. Die Kühlung für NOVELLUS CONCEPT 2 Speed erfolgt über einen Tauchrezirkulator, der einem Innenring in den Kammerwänden Kühlwasser zuführt. Diese Einheit sorgt dafür, dass die Temperaturen auf optimalem Niveau gehalten werden, was eine genaue und präzise Abscheidung gewährleistet. Neben diesen Komponenten enthält der CONCEPT 2 Speed Reaktor auch eine rechnergestützte Prozesssteuerungsmaschine. Dieses Werkzeug ist in der Lage, Temperatur und Druck sowie die Abscheidegeschwindigkeit zu überwachen und gleichzeitig die Fähigkeit zur Feinabstimmung des Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist ein extrem fortschrittlicher und präziser Abscheidereaktor, perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen. Der Reaktor bietet mit seiner Reihe von Merkmalen eine vollständige Kontrolle des Abscheideprozesses und ermöglicht die Herstellung komplizierter Dünnschichtstrukturen mit höchster Genauigkeit.