Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor ist ein Abscheidesystem, das speziell für Ultratieftemperaturprozesse entwickelt wurde. Der CONCEPT 2 Speed Reactor wurde von NOVELLUS Systems, Inc. entwickelt und ist ein Einkammer-Werkzeug mit einer hybriden linearen Kathode, die von einem Gleichstrom-Pulsbogen angetrieben wird. Dieses einzigartige Design ist in der Lage, Prozesse bei Temperaturen von etwa 125 ° C bis 175 ° C durchzuführen und ermöglicht die Abscheidung breiterer Materialklassen von Oxiden bis zu Nitriden oder einzelnen Schichten aus Metallen, Siliziden und siliziumbezogenen Materialien. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor wurde entwickelt, um mehrere Prozesse in einer Einheit durchzuführen. Diese umfassen unter anderem Filmabscheidung, Kammerreinigung, Gasverteilung und Elektrodenbehandlungen. Jeder der Prozesse kann unabhängig oder sequentiell ausgeführt werden, um die Prozessbedingungen zu optimieren. Der Reaktor ist auch mit einer abnehmbaren Kammer ausgelegt, die eine effiziente und genaue Qualitätskontrollanalyse ermöglicht. CONCEPT 2 Speed Reactor hat auch eine eingebaute automatische Duschkopfkonfiguration. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Verteilung der Prozessgase in der gesamten Kammer sowie die Regelung der Temperatur an der Waferoberfläche. Darüber hinaus ist die Kathodenanordnung mit zwei austauschbaren Bauteilen zur Metall- oder Metallsilizid-Abscheidung ausgebildet. Die beiden Komponenten ermöglichen eine individuelle oder duale Prozessleistungsabstimmung. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor hat eine größere Stellfläche als bisherige Reaktorsysteme von NOVELLUS. Dies vergrößert den Schnittstellenbereich und bietet einen größeren Bereich für Funktionen, die für die Prozessoptimierung von entscheidender Bedeutung sind, wie bessere Einheitlichkeit und verbesserte Wiederholbarkeit. Der Reaktor bietet auch überlegene saubere Technologie, um Partikel oder Verunreinigungen zu beseitigen, die den Wafer oder die Komponenten beschädigen können. CONCEPT 2 Speed Reactor arbeitet in einer eigenständigen Umgebung und senkt die Prozesskosten, indem ein Vakuumsystem entfällt. Darüber hinaus weist der Reaktor sehr geringe Prozessgasströmungen auf und kann für einen effizienten Einsatz der Prozessgase ausgelegt werden. Und aufgrund seiner Konstruktion ist der Reaktor in der Lage, mehrere Prozesse mit einem Einkammersystem und einem Satz Vakuumquellen durchzuführen. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor ein hervorragendes Werkzeug für Ultratieftemperaturprozesse. Es hat eine größere Stellfläche im Vergleich zu früheren NOVELLUS-Modellen und ist mit einer hybriden linearen Kathode und einer automatischen Duschkopfkonfiguration konzipiert, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Es ist auch in der Lage, mehrere Prozesse in einer einzigen Einheit zu handhaben. CONCEPT 2 Speed Reactor bietet überlegene saubere Technologie und ist mit geringeren Prozessgasdurchflussraten hocheffizient.