Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932 zu verkaufen
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NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist ein Hochgeschwindigkeitsreaktor, der in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es vereint eine Reihe fortschrittlicher Technologien, um Chipherstellern eine kostengünstige und leistungsstarke Lösung zur Verfügung zu stellen, die ihre engen Fristen und anspruchsvollen Genauigkeitsanforderungen erfüllt. CONCEPT 2 Speed ist eine schnelle inject/in-situ saubere Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Ausrüstung, die schnelle konforme Filmabscheidung mit beispielloser Gleichmäßigkeit, Film-Stress-Kontrolle und Abscheidungsrate Fähigkeit ermöglicht. Dieser Reaktor nutzt eine Reihe integrierter Funktionen, die leistungsstarke Abscheidungsergebnisse liefern. Das schließt eine Krytox™ direkte Absetzungstrommel mit einem beschirmten showerhead Raum, geschlossener Regelkreis RF Generatorkontrolle ein, und individualisierter Quarz bearbeitet Teiltemperaturkontrolle. Die schnelle Gasaustauschfähigkeit sorgt zudem für Prozessstabilität und effiziente Gas-Ziel-Nutzung. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist zudem mit einem Echtzeit-Substratmappingsystem und fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet. Auf diese Weise kann der Reaktor Substrate vor Ort überwachen und die Mapping-Daten verwenden, um Prozessparameter nach Bedarf genau anzupassen und eine perfekte fehlerfreie Filmabscheidung zu gewährleisten. CONCEPT 2 Speed bietet mit seiner Zwei-Zonen-Behandlungsstrategie zudem eine überlegene Gleichmäßigkeit und präzise Dickenkontrolle. Dies ermöglicht es, die Ätzrate der Substrate schnell anzupassen, um „Layer-on-Layer“ - und „Bottom-up“ -Herstellungsverfahren aufzunehmen, was einen unglaublich hohen Durchsatz bietet. Die Reaktionszone ist mit Strahlungsabschirmung integriert und gewährleistet einen hohen Transferwirkungsgrad bei extrem niedrigen Substrattemperaturen. Um die Effizienz und Wirtschaftlichkeit weiter zu verbessern, verfügt das Gerät über eine integrierte Chemical Manangement Machine (CMS), die jedes Bauteil im chemischen Prozess automatisch überwacht und steuert. Dies gewährleistet eine Qualitäts-, Hochdruck- und Temperaturregelung während des gesamten reaktiven Prozesses. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed ist einer der fortschrittlichsten Reaktoren auf dem Markt. Es ist ideal für Halbleiterhersteller, die ein kostengünstiges und leistungsstarkes Werkzeug für ihre Prozesse der nächsten Generation benötigen. Seine erweiterten Funktionen bieten eine verbesserte Kontrolle, präzise Genauigkeit und hocheffiziente Abscheidungsergebnisse, die Chipherstellern helfen, selbst die anspruchsvollsten Anwendungen zu erfüllen.
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