Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 TiN #9206612 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 TiN (Thermal Intelligent Nitrogen) ist ein Plasmabearbeitungsreaktor, der eine optimierte Abscheidung konformer dünner Filme über große Substratgrößen ermöglicht. Es hat sowohl hohe Durchsatz und hohe Gleichmäßigkeit Eigenschaften. CONCEPT 2 TiN Reaktor wird von NOVELLUS Systems, Inc. hergestellt und verfügt über ein einzigartiges Design, das Thermal Intelligent Nitrogen (TIN) Plasma verwendet, um eine gleichmäßige Abscheidung über große Standortflächen zu gewährleisten. Die Konstruktion umfasst eine Hochtemperaturkammer, in der eine Stickstoffatmosphäre erhalten bleibt. Diese Umgebung wird durch den Zusatz einer gepulsten Gleichstromversorgung, die ein elektrisches Feld mit hoher Dichte und niedriger Hülle erzeugt, weiter optimiert. Die einzigartige Kombination aus Temperatur, Druck und elektrischem Feld in der Kammer ermöglicht eine präzise Steuerung der Elektronenenergiestände, wodurch die Stabilität und Gleichmäßigkeit für den Abscheidungsprozess gegeben ist. Das Gas wird auf eine Temperatur zwischen 200 und 300 ° C erhitzt und durchläuft dann eine Reihe von Elektroden in der Plasmakammer. Die Elektronen werden bestromt und ionisiert, was zu einer hochdichten und stabilen Plasmaumgebung führt. Der Abscheidungsprozess beginnt mit der Verdampfung von Ausgangsmaterialien, gefolgt vom Transport des verdampften Materials in der Stickstoffatmosphäre. Beim Erreichen der Kammerwände erfolgt ein Plasmaätzen. Die erzeugten Plasmaionen lagern sich dann auf Substratebene ab und reagieren mit den Oberflächenatomen, wodurch der gewünschte Film entsteht. NOVELLUS CONCEPT 2 TiN Reaktor verfügt auch über einstellbare Leistungsstufen, so dass der Prozeßingenieur die Abscheidungsrate feinjustieren, um die Anforderungen der einzelnen Anwendungen zu erfüllen. CONCEPT 2 TiN Reaktor ist ideal für Hochdurchsatzabscheidungen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit. Seine fortschrittlichen Betriebsparameter bieten eine präzise Steuerung der Elektronenenergiestände, die eine genaue Abscheidung und eine erhöhte Ausbeute gewährleisten. Die Effizienz und Präzision des NOVELLUS CONCEPT 2 TiN Reaktors machen ihn zu einer idealen Wahl für die Abscheidung konformer Dünnschichten auf großen Substratgrößen.