Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed #9096021 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed ist ein CVD-Reaktor für hochproduktive Epitaxie (HPE) und fortschrittliche Lithographieanwendungen. Es wurde entwickelt, um überlegene CVD-Leistung zu liefern und ist in der Lage, extrem hohe Abscheidegeschwindigkeiten mit 200 nm/min Gleichmäßigkeit und 0,5 nm/min Ungleichmäßigkeit Spezifikationen. Es verfügt über drei Leistungsstufen, die angepasst werden können, um ein optimales Wachstum und eine optimale Oberflächenplanarität aller anwendbaren Epi-Strukturen zu ermöglichen. Der Dreifachgeschwindigkeitsreaktor arbeitet in einer dreistufigen Reaktionskammer, in der jede Ebene für unterschiedliche Leistungsstufen verantwortlich ist. Erstens wird eine Substratstufe niedriger Leistung verwendet, um das Risiko von Kristallüberholung zu verringern und die Oberflächenplanarität zu verbessern. Die zweite Stufe ist ein starkes Mediumplasma, um einheitliche Wachstumsbedingungen zu schaffen. Schließlich wird ein Hochleistungs-Wasserstoffplasma zur Zwischenschichtkonformalisierung verwendet. Darüber hinaus ist CONCEPT 2 Triple Speed mit TurboStar-Technologie ausgestattet, die die beschleunigte Abscheidung fördert, indem eine fokussierte Plasmatasche basierend auf der Phase der Reaktionskammer erzeugt wird. Dies erhöht die Verarbeitungsgeschwindigkeit bei Gleichmäßigkeit und Konformität. Der Triple Speed Reaktor ist auch so konzipiert, dass er mit einer Reihe fortschrittlicher Additionswerkzeuge und Lithographieoptiken kompatibel ist. Die geringe Betriebskostenstruktur sorgt für minimale Wartung und langfristige Kosteneinsparungen. NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed ist ideal für diejenigen, die ihren Herstellungsprozess durch schnellere Zykluszeiten, verbesserte Ausbeute und hohe Wiederholbarkeit verbessern möchten.