Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Triple Speed #9203792 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 Triple Speed
ID: 9203792
Wafergröße: 8"
HDP CVD Systems, 8" (3) Chambers.
NOVELLUS Concept 2 Triple Speed Reaktor ist eine Hightech-Ätz- und Abscheideanlage, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet eine einzigartige Kombination aus Prozessvielfalt und schnellen Zykluszeiten, was zu qualitativ hochwertigen Ergebnissen bei geringeren Betriebskosten führt. Concept 2 Triple Speed verwendet eine einheitliche Plasmatechnologie, die es ermöglicht, sowohl das Ätzen als auch die Abscheidung auf einer einzigen Plattform zu erledigen. Dadurch kann das System eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, darunter Metalle, Oxide und Polymere. Es bietet eine hohe Ätzrate und geringe Defektivität, mit ausgezeichneten Seitenverhältnissen und überlegener Schrittabdeckung. Das Gerät verfügt über drei Grundmodi: planar, flach und tief, mit maximalen Seitenverhältnissen bis zu 20:1 im tiefen Modus erreichbar. Dies ermöglicht eine breite Palette von Prozessmaterialien und Anwendungen, von flacher Grabenisolierung (STI) bis hin zu fortschrittlichen Verbindungsstrukturen. NOVELLUS Concept 2 Triple Speed ist für einen einfachen und effizienten Betrieb konzipiert, was zu schnelleren Rüstzeiten und weniger Ausfallzeiten für die Wartung führt. Sein Design ermöglicht auch schnellere Wafer-Übertragungszeiten, die Zykluszeiten senken und den Durchsatz verbessern können. Die Maschine weist auch eine Reihe von Merkmalen auf, die die Prozessstabilität erhöhen. Dazu gehören zwei Gaskanäle, mobile Medienquellen und ein verbessertes Gasförderwerkzeug. Dadurch kann das Asset sauberere, konsistentere Prozessergebnisse liefern. Das Modell verfügt zudem über eine hochflexible Architektur mit einer Reihe von Optionen zur Maximierung von Prozessfunktionen und Durchsatz. Dazu gehören eine integrierte Prozessmaschine, erweiterte Kammerkonfigurationen und eine automatisierte Reinigungslösung. Schließlich wurde Concept 2 Triple Speed entwickelt, um weniger Energie als andere Systeme zu verbrauchen, was seinen Betrieb effizienter und kostengünstiger macht. Insgesamt ist der NOVELLUS Concept 2 Triple Speed Reaktor eine leistungsstarke Lösung für die Halbleiterindustrie. Es bietet hohe Leistung, Vielseitigkeit und Kosteneffizienz und ist damit die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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