Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #152911 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2
ID: 152911
Wafergröße: 6"
CVD Nitride system, parts machine, 6" Transfer module with load locks & turbo (2) Cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor ist ein High-End-Plasmaätzgerät für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Dieses System bietet eine Vielzahl von Ätzprozessen zum Ätzen unterschiedlichster Materialien. Es bietet eine verbesserte Prozesskontrolle und Einheitlichkeit im Vergleich zu herkömmlichen Ätzsystemen. CONCEPT 2 Reaktor ist ein Multifunktionsreaktor, der eine Vielzahl von Eigenschaften mit einer großen Auswahl an Gasen ätzen kann. Es beinhaltet intelligente Prozesssteuerung (IPC), die den Prozess automatisch optimiert und gleichzeitig die Ätzchemie und die Substrattemperatur überwacht. Die erweiterte Elektrotoleranz-Funktion stellt die Gleichmäßigkeit nach jedem Rezept-Setup wieder her. Zusätzlich bietet das hohe Höchstsubstrat, das Einheit behandelt, vergrößerten Durchfluss und verbesserte Rezeptübertragungszeit an. Die nicht abrasive Prozessmaschine des Reaktors hilft auch, den Verschleiß an den Ätzkammerwänden zu reduzieren, was zu einem gleichmäßigeren Ätzprofil führt. Weitere Merkmale des Reaktors sind ein Echtzeit-Gasmonitor, der es dem Benutzer ermöglicht, Prozessgase zu analysieren und Probleme mit dem Ätzprozess schnell zu beheben. Darüber hinaus sorgt die hochpräzise Quarzplasmaquelle für ein homogenes Ätzen über alle Substrate, unabhängig von der Wafergröße. Die automatische Endpunktsteuerung stoppt den Ätzvorgang, wenn der Fehler innerhalb der Konstruktion noch sichtbar ist. Dies hilft, das Risiko von Funktionseinbruch und Erosion zu reduzieren. Schließlich verbessern die fortschrittlichen Ätzrezepte im NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor die Gesamtqualität des Ätzprozesses. Durch die Verwendung präziser Parameter, die auf den gewünschten Ergebnissen des Kunden basieren, lassen sich äußerst saubere und gleichmäßige Eigenschaften erzielen. Die IPC-Bibliothek kann verwendet werden, um die Rezepte und Prozessvariablen zu speichern, so dass der Benutzer Ätzprofile schnell replizieren kann. Abschließend ist CONCEPT 2 Reactor ein hochmodernes Ätzwerkzeug, das eine verbesserte Vermögenskontrolle, Einheitlichkeit und Durchsatz bietet. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einem idealen Modell für High-End-Halbleiterbauelemente. Mit seinen präzisen Prozessrezepten und der IPC-Bibliothek sorgt NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor für saubere und konsistente Ätzprozesse.
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