Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #293622194 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für das Arbeiten mit extremen Leistungs-, Temperatur- und Zeitgeschwindigkeitsbedingungen ausgelegt ist. Dieses Gerät bietet eine gleichmäßige Filmabscheidung und eine präzise Kontrolle über Schichten aus ultradünnen Metall- und dielektrischen Materialien, was es ideal für fortgeschrittene optische, elektronische oder Halbleiteranwendungen macht. Das einzigartige Design von CONCEPT 2 umfasst eine Kombination aus radialen und linearen Strömungsreaktoren sowie eine Kaltwandkonstruktion und ein fortschrittliches Suszeptor-Design für Gleichmäßigkeit und Haltbarkeit. Der radiale Strömungsreaktor und der Suszeptor sind für eine effiziente Nutzung der Wärme- und Strömungsenergie ausgelegt, was zur Verkürzung der Kühlzeit beiträgt. Dies maximiert die Substrattemperatur und minimiert die Zykluszeit, was eine überlegene Filmabscheidungsgleichmäßigkeit ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT 2 enthält auch ein fortschrittliches Waferkühlsystem, das die Substrattemperatur schnell senken kann, um eine gleichmäßige Verteilung des Materials über die Oberfläche zu erreichen. Das Gerät verwendet auch eine integrierte Temperatur- und Durchflussregelmaschine, um die Stabilität der Prozesstemperatur und den Durchfluss durch den Reaktor zu erhalten. Dies gewährleistet dynamische, konsistente und wiederholbare Prozessergebnisse während der gesamten Lebensdauer des Reaktors. Ein fortschrittliches Messtechnik-Tool hilft, alle kritischen Prozessparameter zu überwachen und bietet hochpräzise Messungen, einschließlich Schichtdicke, Dotierungsstufen, Ätzraten, Waferform und Kontaktpotential. Dieses Asset sorgt auch für hohen Durchsatz und niedrige Zykluszeiten durch kontinuierliche Überwachung der Abscheidungsgleichmäßigkeit, der Kleiderrate und anderer Substratparameter. CONCEPT 2 verfügt über eine innovative Plattformarchitektur, die Modularität und Skalierbarkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen bietet. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen und erweiterten Funktionen ist dieses Modell ideal für Anwendungen, die eine überlegene Foliengleichmäßigkeit, eine präzise Kontrolle über Schichten und reduzierte Zykluszeiten erfordern. Ob in mikroelektronischen, fortschrittlichen optischen, biomedizinischen oder Verbraucheranwendungen, NOVELLUS CONCEPT 2 bietet ein außergewöhnliches Maß an Prozessflexibilität und Präzision.