Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9071448 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2
ID: 9071448
Wafergröße: 12"
Assembly, 12".
NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein CVD-Gerät (Chemical Vapor Deposition), ein Reaktortyp zur Beschichtung von Oberflächen mit dünnen Schichten aus verschiedenen Materialien. CONCEPT 2 wird häufig verwendet, um dünne Schichten von Filmen auf Halbleitersubstraten und anderen Leiterbahnen wie Kupfer, Gold, Titan und Aluminium zu erzeugen. NOVELLUS CONCEPT 2 zeichnet sich durch extrem hohe Abscheideraten und Präzisionssteuerung aus. Es verfügt über ein innovatives Plattenssuszeptor-Design, das hilft, dass die Folien konsequent und gleichmäßig abgelegt werden. Diese Konstruktion reduziert auch die Möglichkeit von Beschädigungen empfindlicher Dünnschichtschichten durch differentielle Wärmeausdehnung. Das CONCEPT 2-System ist in der Lage, die Abscheideraten schnell und genau anzuheben. Es verfügt über zwei Bordshaker, die arbeiten, um die Gleichmäßigkeit der Substratschicht während des Filmwachstums zu erhalten. Es verfügt außerdem über eine beheizte Abgasanlage, die dabei hilft, jegliches Abgas zu vertreiben und die Verschmutzung der Substrate zu reduzieren. NOVELLUS CONCEPT 2 ist zudem hochmodular aufgebaut und kann mit drei zusätzlichen Substrate Heat Data Acquisition Systemen erweitert werden, so dass es sich ideal für komplexe Wachstumsprozesse eignet. Der modulare Aufbau macht CONCEPT 2 zudem außerordentlich einfach zu bedienen, da Komponenten bei Bedarf problemlos ausgetauscht oder aufgerüstet werden können. NOVELLUS CONCEPT 2 verfügt über ein reinraumreiches Design, wobei alle notwendigen Komponenten ISO-14644 konform sind. Es verfügt über drei unabhängige Kammern, die alle kontinuierlich auf Drücke und Temperaturen überwacht werden. Dies bietet maximale Flexibilität für die Anwender, so dass sie Filme erstellen können, die konsistent und von höchster Qualität sind. CONCEPT 2 ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige CVD-Maschine für die Herstellung hochwertiger Dünnschichten suchen. Es ist ein hochmodulares und vielseitiges Werkzeug, das sich einfach an eine Vielzahl von spezifischen Anwendungen anpassen lässt. Dank der Präzisionskontrolle und der hohen Abscheideraten ist NOVELLUS CONCEPT 2 eine ideale Wahl für alle Arten von Dünnschichtanwendungen.
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