Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9100803 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor für die Herstellung von Halbleitern. Es ist der Vorläufer von NOVELLUS Concept 3 und eine der ersten Plattformen, die die Verwendung von dualdielektrischen toroidalen Quellen einführt. Sie eignet sich insbesondere für Anwendungen wie metalorganisches CVD und selektive Abscheidung sowie für Niedertemperaturverfahren wie Phosphor- und Siliziumnitrid-Abscheidung. CONCEPT 2 ist ein Inline-CVD-Reaktor, der eine hohe Produktivität, Prozessgleichförmigkeit und Ausrüstungszuverlässigkeit bietet. Das System nutzt dualdielektrische ringförmige Quellen, um die effektive Substratfläche zu vergrößern und die erzeugten Partikelwerte im Reaktor zu reduzieren. Diese Funktion ermöglicht eine Erhöhung der Gesamtzahl der Substratscheiben und einen höheren Durchsatz ohne Leistungseinbußen. Die thermisch haltbare Quarzkammer bietet eine hervorragende Temperaturregelung mit einem Temperaturpotenzial von bis zu 1000 ° C. Die Kammer hat sich auch bewährt, mehrere Prozesszyklen effektiv aufrechtzuerhalten, so dass mehrere Durchläufe möglich sind, ohne dass redressiert oder verpackt werden muss. NOVELLUS CONCEPT 2 nutzt seine zweidimensionale Pulsstromquelle, um eine Vielzahl von Prozessrezepten zu unterstützen. Diese Technologie ermöglicht vollständig optimierte Prozessrezepte, die auf die Anforderungen jedes einzelnen Substrats zugeschnitten sind. Dies wiederum bietet Anwendern die einzigartige Möglichkeit, Ätzprofile, Abscheidegleichmäßigkeit, Linienbreitensteuerung und Temperaturprofile über den gesamten Wafer zu steuern. Darüber hinaus ermöglichen die robusten Reparatur- und Ablageoptionen von CONCEPT 2 hochpräzise, anpassbare Gerätekomponenten. Mit NOVELLUS CONCEPT 2 profitieren Anwender auch von der automatisierten Wafer-Transferming-Einheit. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass alle Substratscheiben über eine präzise mechanische Förderung über mehrere Reaktoren ausgerichtet, zentriert und positioniert werden, wobei eine bewährte berührungslose, kollimierte Strahllenktechnologie zur Übertragung der Scheiben zwischen Kammern verwendet wird. CONCEPT 2 ist ein äußerst beeindruckender chemischer Dampfabscheidungsreaktor. Mit seinen zweidimensionalen ringförmigen Quellen, robusten Reparatur- und Abscheidefähigkeiten, zweidimensionaler Impulsstromquelle und automatisierter Wafer-Transfermaschine können Anwender von größerer Produktivität, Gleichmäßigkeit und Werkzeugzuverlässigkeit profitieren.