Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9113843 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein CVD-Reaktor, der hauptsächlich zum Aufbringen von Materialschichten auf verschiedene Substrate verwendet wird. Es ist in der Lage, Niedertemperatur-CVD-Prozesse sowie Hochtemperatur-CVD-Prozesse sowohl zur Abscheidung von Metall- als auch Halbleiterfilmen durchzuführen. Es ist auch mit einem Prozessüberwachungs- und Steuerungssystem ausgestattet. CONCEPT 2 verwendet zwei horizontal montierte Quarzduschköpfe mit drei Abscheidungsquellen, um Materialschichten auf Substraten abzuscheiden. Der Quarzbrausekopf ist von einer ringförmigen Reflexionskammer umgeben, die mit einem elektrischen Heizelement beheizt wird. Die Substrate werden auf einen Substrathalter aufgesetzt, der mit einer gasgebrannten Infrarotlampe und einem Gehäuse beheizt wird. Die bei der Abscheidung verwendeten Gase werden dosiert, gemischt und mittels Massenstromreglern und einem automatischen Strömungsregler der Abscheidekammer zugeführt. NOVELLUS CONCEPT 2 ist mit einer breiten Palette von Diagnostika zur Überwachung des CVD-Prozesses ausgestattet. Enthalten sind eine Vielzahl von Infrarotdetektoren, Thermoelementen, Quarzkristall-Mikrowaagen und Quarzkristall-Oszillatoren. Diese Diagnostik ermöglicht eine schnelle Identifizierung der in der CVD-Reaktion vorhandenen chemischen Spezies und die Einstellung von Prozessparametern, um die Gleichmäßigkeit von Ablagerungsfolien zu gewährleisten. Darüber hinaus ist CONCEPT 2 mit einem Computersystem ausgestattet, das die Steuerung des Abscheideprozesses und die Überwachung des Prozessverlaufs ermöglicht. Anwender sind in der Lage, die Prozessparameter in Echtzeit zu modifizieren und so bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen. Das System ermöglicht es Benutzern auch, eine Vielzahl von Rezepten einzugeben und darauf zuzugreifen, die die Ausführung automatisierter Programme ermöglichen. NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein vielseitiges Werkzeug, das eine breite Palette von Präzisionsablagerungen für eine Vielzahl von Anwendungen herstellt. Es ist ein wesentliches Bauelement in der Halbleiter- und Informationstechnologieherstellung, das eine gleichmäßige Abscheidung von Materialien für eine Reihe von Anwendungen ermöglicht.