Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9167960 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungsreaktor, der für Wiedereinsteiger optimiert ist. Diese Ausrüstung verbessert Ätz- und Abscheidungsprozesse für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Es bietet überlegene Substratgleichförmigkeit, erhöhte Prozessflexibilität und ausgezeichnete Prozesskontrolle. CONCEPT 2 verwendet eine optimierte, volumengemittelte Lastwaage, die den Druckabfall aufgrund der im System vorhandenen Last reduziert. Die Lastwaage ist unabhängig vom Druck in der Einheit, was zu einer außergewöhnlichen Gleichmäßigkeit über das Substrat führt. Darüber hinaus bietet es eine hervorragende Prozessflexibilität, die schnelle Prozessänderungen und Wafer-Umrüstungen ermöglicht. Für Ätz- und Abscheideprozesse können unterschiedlichste Gase eingesetzt werden, ohne dass die Prozessgasanlagen nachgeladen werden müssen. Diese Flexibilität erlaubt die Verwendung mehrerer Kammerkonfigurationen. NOVELLUS CONCEPT 2 nutzt HF-Power-Technologie zur Abscheidung. Diese Maschine bietet eine überlegene Steuerbarkeit über die Abscheiderate über das Substrat. Durch das Verändern der RF-Macht kann die Absetzungsrate für unterschiedliche Absetzungsratenvoraussetzungen genau angepasst werden. Es ermöglicht auch niedrigere als herkömmliche Abscheidungsraten für verbesserte Prozessleistung, bessere Wafer-Gleichmäßigkeit und höheren Durchsatz. CONCEPT 2 bietet ein innovatives Lastschloss-Design, das Prozesszykluszeiten reduziert. Es verfügt auch über ein neues induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -Quellendesign, das dramatische Verbesserungen der Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Dieses Tool verwendet auch ein neues Motordesign und eine neue Antriebsarchitektur, die Vibrationsniveaus reduzieren und gleichzeitig die Gleichmäßigkeit des Sputters erhöhen kann. Kurz gesagt, NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist eine fortschrittliche, hochqualitative Ätz- und Abscheidungsanlage, die für den Einsatz in wiedereinsteigenden Kammern entwickelt wurde. Es bietet überlegene Substratgleichförmigkeit, Prozessflexibilität, Prozesssteuerung und Durchsatz. Es ist für den Einsatz mit konventionellen und fortschrittlichen Prozesstechnologien optimiert und bietet eine hervorragende Plattform für moderne Ätz- und Abscheidungsanwendungen.