Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9179262 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein Typ eines ultrahochdichten Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) -Systems, das für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Diese Einheit ist ideal für Anwendungen, die die Abscheidung von dünnen Folien für die fortschrittliche Geräte- und Materialentwicklung aufgrund ihrer Fähigkeit zur extrem präzisen Abscheidung erfordern. Die Maschine verfügt über drei Hauptabscheidekammern mit einem MRC (Multi-Ring-Konzept) -Design. Das MRC basiert auf dem Konzept mehrerer plasmachemischer Reaktionsstellen innerhalb einer einzigen Kammer. Es hat einen zweistufigen, einstufigen und mehrstufigen Rotationsabscheidungsring, der einen weiten Bereich der Dickenkontrolle und Gleichmäßigkeit über die Waferoberfläche ermöglicht. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine Vielzahl komplexer dünner Folien mit PE-CVD herzustellen, wie Spezialmaterialien, Barriereschichten und transparente Oxidfolien. Die Anlage ist mit einem erweiterten Lastschloss ausgestattet, so dass Wafer direkt in die Kammern geladen werden können, ohne Vakuum zu brechen. Die Kammern verfügen über ein breites Spektrum an atmosphärischen und Druckregelungsmöglichkeiten und sind in der Lage, bis zu 24 Wafer gleichzeitig zu verarbeiten. Das Modell ist auch mit einer modernen Abgasanlage konzipiert, die eine sichere und effiziente Entfernung von Abfallmaterial ermöglicht und einen Aufbau von Systemkomponenten verhindert. CONCEPT 2 verfügt auch über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die eine präzise Steuerung des Energieeintrags während der Abscheidung ermöglicht. Diese erweiterte Quelle verwendet eine dynamische Frequenzänderungstechnik, um eine gleichmäßige Plasmaleistungsdichte über die gesamte Waferoberfläche zu liefern. Das Gerät ist außerdem mit einer Vielzahl fortschrittlicher Diagnose- und Messtechniksysteme ausgestattet, die die Qualität der abgeschiedenen Folien überprüfen und die Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer gewährleisten sollen. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT 2 eine hochpräzise und effiziente PE-CVD-Maschine, die für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Seine Fähigkeit zur präzisen Abscheidung von dünnen Folien und die Gleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche machen es ideal für Anwendungen in der Geräte- und Materialentwicklung. NOVELLUS Concepts 2 ist durch seine fortschrittliche Lastverriegelung, Kammerdruck- und Atmosphärenkontrolle, fortschrittliche Plasmaquelle und fortschrittliche Diagnose- und Messtechnik in der Lage, eine hochmoderne Dünnschichtabscheidung für eine Vielzahl von Anwendungen zu liefern.