Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9188214 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein kontinuierlicher Einzelwaferreaktor, der Herstellern einen innovativen Ansatz für die hochwertige Produktion von mikroelektronischen Geräten bietet. Es ist ein einzigartiges System, das Lösungen in den Bereichen Abscheidung, Oxidation, Nitridierung und Ätzen liefert und eine beispiellose Gleichmäßigkeit bei maximalem Durchsatz ermöglicht. Der CONCEPT 2 Reaktor besteht aus einer Vakuumkammer, einer HF-Plasmaquelle, einem induktiv gekoppelten Plasmagenerator, einem einzigartigen Festkörperwaferhalter und einem Satz von Prozessmodulen. Die Kammer ist thermisch von der umgebenden Elektronik isoliert, während eine interne Lichtleitung und Verschlusssystem ermöglicht die Visualisierung des Prozesses innerhalb des Reaktors. Die HF-Plasmaquelle ist das Herzstück von NOVELLUS CONCEPT 2 und besteht aus dreistufigen Designs für überwiegend Oxid-, Nitrid- oder Ätzprozesse. Es hilft, ein optimales Gleichgewicht von Ionenenergie und Fluß über den Wafer für eine präzise Schicht-für-Schicht-Abscheidung Kontrolle und überlegene Gleichmäßigkeit. Die bordinduktiv gekoppelte Plasmaquelle ist in der Lage, verschiedene Radikalarten für Ätz- oder Reinigungsvorgänge zu erzeugen. Der Festkörper-Waferhalter ist ein wichtiger Bestandteil von CONCEPT 2 und bietet einen schnellen und zuverlässigen Mechanismus für die Übertragung von Wafern zwischen Reaktor- und Prozessmodulen. Der Halter ermöglicht eine präzise Wafer-Steuerung sowohl vertikal als auch horizontal, um ungleichmäßige Belastungsbedingungen auszugleichen. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor enthält auch eine Reihe von fortschrittlichen Prozessmodulen, die die Leistung und Gleichmäßigkeit verbessern sollen, einschließlich: ein Hochleistungs-Oxidationsmodul für kontrollierte Leistung und ultraglatte Schichten; ein Niedertemperatur-Nitridationsmodul, um das reichhaltige TDD- und BTI-Epitaxiewachstum anzapfen, das der Oxidprozess nicht bereitstellen kann; und ein erweitertes Ätzmodul für hochgenaue Ätz-/Reinigungsoperationen. Dies ist gekoppelt mit der Möglichkeit, mehrere Größen in der Abscheide-/Ätzkammer von innerhalb der Maschine aus zu steuern. Diese Funktionen ermöglichen eine beispiellose Gleichmäßigkeit und vollständige Kontrolle über die Gerätestruktur und die Mikrofeature-Dimensionen. CONCEPT 2 ist leicht aufrüstbar, sodass Kunden in einem Reaktor zwischen Oxid-, Nitrid- oder Metallprozessen wechseln können. Diese Flexibilität ermöglicht die Herstellung eines breiteren Spektrums von mikroelektronischen Geräten mit hoher Qualität und geringeren Kosten als bisher möglich.