Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein plasmaverbesserter PECVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der eine hervorragende Ausstattungsleistung liefert. Es ist ein hochentwickeltes, automatisiertes Werkzeug, das zur Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, Kupfer, Chrom und Aluminium geeignet ist. CONCEPT 2 ist mit mehreren aktiven Zonenquellen ausgestattet, die den hocheffizienten, kontrollierbaren und sauberen Abscheidungsprozess erzeugen. Das Hauptmerkmal, das NOVELLUS CONCEPT 2 von konkurrierenden Produkten unterscheidet, ist seine extrem hohe Prozesswiederholbarkeit und Einheitlichkeit. Dies wird durch den Einsatz von zwei unabhängig voneinander betriebenen TEM-Zellen-basierten Quellen erreicht, die exakt abgestimmt sind, um jederzeit eine hohe Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Das System ist auf Basis montiert, eine aktualisierbare Plattform, die Funktionen und Funktionen für Benutzer hinzufügen kann, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Es verfügt über ein kompaktes, ergonomisches Design, das Installation und Betrieb in begrenztem Raum ermöglicht. CONCEPT 2 ist in der Lage, ein breites Spektrum fortschrittlicher Anwendungen zu unterstützen, von einzelnen Wafern bis hin zu Hochdurchsatz-Produktionsanwendungen. Das System umfasst Rückkopplungskontroll- und Überwachungsgeräte, um Wiederholbarkeit und hohe Erträge zu gewährleisten. Automatische Steuerungs- und Überwachungsgeräte überwachen und messen die Abscheiderate, Temperaturschwankungen und den Gasfluss; bietet höchste Prozessleistung und Parameterkontrolle in der Branche. Es ist mit der Advanced Gas Distribution (AGD) -Technologie ausgestattet, einer exklusiven NOVELLUS-Technologie, die die Zufuhr von reagierenden Gasen auf die Substratoberfläche genau steuert und mehr Einheitlichkeit und Kontrolle als herkömmliche Gaszufuhrsysteme ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT 2 ist in der Lage, einheitliche und wiederholbare Ergebnisse unter Verwendung niedriger Wärmebudgetabscheidung zu liefern. Dies ist auf die Kombination der erhöhten Prozesskontrolle von CONCEPT 2 durch die AGD-Technologie und ihre Präzisionsabscheidungsratensteuerung zurückzuführen, eine Funktion, die es Anwendern ermöglicht, die Abscheidungsrate innerhalb eines Durchgangs mit erstaunlicher Genauigkeit und Wiederholbarkeit anzupassen, um Maskenkantenüberschichtungen zu vermeiden und eine hervorragende Seitenverfüllung zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein vollautomatisches Werkzeug der nächsten Generation, das im Vergleich zu Konkurrenzprodukten eine überlegene Leistung und präzise Steuerung bietet. Die automatisierten Prozessüberwachungs-, Steuerungs- und Rückkopplungssysteme machen CONCEPT 2 zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Abscheideanwendungen, die eine hohe Wiederholbarkeit und hohe Erträge bieten.