Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9206050 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein hochleistungsfähiger, plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD), der für die fortschrittliche Dünnschichtherstellung entwickelt wurde. CONCEPT 2-Reaktor verwendet ein patentiertes sputterverbessertes Duschkopfdesign, das eine sehr gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf großen Substraten ermöglicht. Das sputterverstärkte Duschkopfdesign ermöglicht auch die Abscheidung dickerer Folien mit einer höheren Geschwindigkeit als bei einem herkömmlichen Duschkopf. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor hat ein großes Prozesskammervolumen, das die Abscheidung dickerer Filme mit hohem Durchsatz ermöglicht. Der CONCEPT 2-Reaktor ist ein Zweizonensystem, das eine Hauptkammer mit einem Substrataufnahmeabschnitt umfasst, der über einen Prozesskanal mit einer Reaktionskammer verbunden ist. Der Prozesskanal sorgt für einen kontinuierlichen Strom von Prozessgasen aus der Reaktionskammer zum Substrataufnahmeteil. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist mit einer hochfrequenten, zweifrequenten HF-Quelle ausgestattet, die den Substraten und Prozessgasen in der Reaktionskammer Energie zuführt. Die zweifrequente HF-Quelle bietet die Möglichkeit, die Plasmaparameter für verschiedene Dünnschichtprozesse einzustellen. CONCEPT 2 Reaktor ist hochgradig konfigurierbar und kann auf spezifische Prozesse zugeschnitten werden. Es ist in der Lage, Wafer bis zu einem Durchmesser von 300 mm zu verarbeiten, was es zu einer idealen Wahl für 3D-IC Anwendungen macht. Der Reaktor bietet Flexibilität bei der Kontrolle der Konzentration von Prozessgasen und HF-Leistung. Ein patentiertes Gaskrümmersystem mit Rückkopplungssteuerung ermöglicht eine schnelle und präzise Einstellung der Gasdurchflussraten und der Gasverweilzeit in der Reaktionskammer. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor wurde entwickelt, um den steigenden Anforderungen der modernen IC-Technologie gerecht zu werden. Sein hoher Durchsatz und seine Flexibilität in Kombination mit seinen umfangreichen Zubehörserien machen ihn zu einer attraktiven Wahl für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen. CONCEPT 2 bietet einzigartige Funktionen zur Optimierung der fortschrittlichen Prozessleistung und ermöglicht die Herstellung von Hochleistungsgeräten und Schaltungen mit hervorragenden Ergebnissen. NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein zuverlässiges, kostengünstiges Werkzeug mit geringem Platzbedarf für Halbleiteranwendungen. Es bietet einen hohen Automatisierungsgrad mit Präzisionsprozesssteuerung, qualitativ hochwertiger Abscheidung und Prozessgleichförmigkeit. Seine fortschrittlichen messtechnischen und diagnostischen Fähigkeiten maximieren Prozessstabilität und Effizienz. Darüber hinaus macht seine kostengünstige Wartung und lange Lebensdauer es zu einer attraktiven Wahl für langfristige Projekte. CONCEPT 2 ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung und die ideale Wahl für die industrielle Fertigung in der heutigen Halbleiterindustrie.