Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9212169 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein CVD-Gerät (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), das für die Produktion von Dünnschicht-integrierten Schaltungen in großen Stückzahlen ausgelegt ist. Es verwendet ein Einzelkammerverfahren zur Oxid- und Nitridabscheidung und liefert einen hohen Durchsatz mit niedrigen Defektraten. CONCEPT 2 bietet außergewöhnliche Leistung mit zehn Abscheidungsquellen, die eine außergewöhnliche Gleichmäßigkeit über die Substratoberfläche bieten. NOVELLUS CONCEPT 2 ist mit einem Niederdruck-Reaktantenstrom gebaut, der speziell für die Oxid- und Nitridabscheidung entwickelt wurde. Die Kammer hat eine geschlossene, zylindrische Ausführung mit einem zweizonigen, hochgeschwindigkeitsthermischen Verfahren, bei dem ein Mehrgassystem verwendet wird. Es verfügt über zwei interne Gaskrümmer, die höhere Gesamtgasströme für erhöhte Gleichmäßigkeit ermöglichen, und eine optionale interne Sperrschicht für noch größeren Durchsatz. Zur Ionisierung der Reaktantgase wird ein präzise gesteuertes parabolisches HF-Energiefeld verwendet. Dies führt zu Reaktionen an der Waferoberfläche, was letztlich zur Abscheidung einer Dünnschichtschicht führt. KONZEPT 2 wird mit einer hohen Rate, Mehrteilgasliefereinheit ausgestattet. Diese Maschine hält kontrollierte Reaktandendrücke aufrecht und sorgt für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit. NOVELLUS CONCEPT 2 verwendet einen selbstjustierenden seitlichen Massendurchflussmesser, um stabile und wiederholbare Druckmuster und genaue Gasdurchflussraten zu gewährleisten. Zusätzlich verwendet die Kammer für jedes Reaktandengas separate Massenstromregler und Verteilerdruckregler. Dies trägt dazu bei, eine hohe Regelbarkeit und Präzisionsgasförderung während des gesamten Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. CONCEPT 2 bietet auch ein Substrat-Heizwerkzeug, das mit den führenden Stand-alone-CVD-Systemen identisch ist. Dieser Vorteil gewährleistet eine außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Substrattypen. Das Heizmodell ist auch einstellbar, so dass Benutzer das Temperaturprofil an ihre spezifischen Substrat- und Prozessanforderungen anpassen können. Die Kombination dieser fortschrittlichen Merkmale führt zu einer allgemeinen Verbesserung der Prozesskontrolle sowie zu einer verbesserten Durchsatz- und Ätzqualität. Um die Prozessleistung weiter zu verbessern, nutzt NOVELLUS CONCEPT 2 fortschrittliche Duschkopftechnologie. Diese Technologie erhöht den Durchsatz und die Gleichmäßigkeit durch den Einsatz unabhängiger Schieber an jedem Brausekopfanschluss, was die Verteilung von Reaktantgasen verbessert und die Ansammlung unerwünschter Nebenprodukte verhindert. Der Zusatz von Duschkopftechnologie führt zu einem deutlich verbesserten Prozessfenster und Gleichmäßigkeit über die gesamte Substratoberfläche. Zusammenfassend ist CONCEPT 2 eine Niederdruck-CVD-Ausrüstung, die auf hohe Volumen und überlegene Substratgleichförmigkeit ausgelegt ist. Es ist ideal für die großflächige Verarbeitung von Dünnschicht-integrierten Schaltungen. Die fortschrittlichen Eigenschaften des Systems, wie Multi-Gas-Lieferung, parabolisches HF-Energiefeld und Duschkopftechnologie, machen es zu einem leistungsfähigen und zuverlässigen Werkzeug in der oft anspruchsvollen CVD-Umgebung.