Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9212229 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein hochdichter Plasmareaktor, der zum Ätzen in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein Einkammer-Vertikalreaktor und hat einen modularen Aufbau mit einer detaillierten Prozesskontrollausrüstung, die ein hochpräzises Ätzen von Wafern ermöglicht. Das System ist mit einer Vakuumkammer, einer Gasversorgungseinheit, Hochfrequenz-Stromversorgungssystemen und einer Prozessüberwachungsmaschine ausgestattet. Das Verfahren findet innerhalb einer Metallkammer statt, die hermetisch isoliert ist, um eine vakuumnahe Umgebung im Inneren aufrechtzuerhalten. Vakuum ist eine notwendige Voraussetzung für den Ätzprozess und eine der Grundvoraussetzungen für den Erfolg eines Ätzprozesses. Gasmoleküle, insbesondere Sauerstoff und Wasserstoff, werden als Ätz- und Reduktionsmittel zum Ätzen des Materials von der Waferoberfläche verwendet. Eine präzise Kontrolle des Gasflusses und der Plasmabildung ist für den Erfolg des Prozesses unerlässlich. Der Reaktor nutzt eine HF-Frequenz von 13,56 MHz und einen Leistungspegel bis 1500W, um eine Glimmentladung zu erzeugen und reaktive Spezies zu bilden, die verwendet wird, um ein gewünschtes Muster auf der Waferoberfläche zu ätzen. Die HF-Leistung, der Gasstrom und die Betriebstemperatur des Werkzeugs werden von der fortschrittlichen Kontrollanlage des Unternehmens genau gesteuert. Das HF-Stromversorgungsmodell ist für den Antrieb des HF-Generators verantwortlich. Es bietet Präzisionssteuerung für die Eingangsleistung, um sicherzustellen, dass die Leistung genau an den Generator geliefert wird. Die Gasfördereinrichtung sorgt für eine genaue Kontrolle des Gasstroms und ermöglicht eine präzise Zusammensetzungssteuerung der Ätzgase im System. Die Temperatur der Einheit wird über einen thermischen Sensor bzw. einen thermischen Regler überwacht und gesteuert. Die Überwachung des Wafers während des Ätzvorgangs obliegt der Prozessüberwachungsmaschine. Das Tool ermöglicht eine Echtzeit-Beobachtung des Ätzprozesses, so dass Bediener den Prozess für höhere Erträge und höhere Erträge optimieren können. CONCEPT 2 ist eine vielseitige und zuverlässige Ätzanlage, die den strengsten Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Seine Modularität und präzise Prozesssteuerung garantieren branchenweit höchste Ätzqualität. Das Unternehmen bietet seinen Kunden komplette Wartungs- und technische Support-Lösungen, die eine sorgenfreie Installation und den Betrieb seines hochmotorisierten Ätzmodells ermöglichen.