Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9251351 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein chemisch-mechanischer Planarisierungsreaktor (CMP) für die Halbleiterherstellung. Es ist ein fortschrittliches Tool, das im Vergleich zu anderen CMP-Systemen eine verbesserte Leistung und Produktivität bietet. Es wird verwendet, um hochgleichmäßige und planarisierte Oberflächen auf der Halbleiterscheibe zu schaffen, um die ordnungsgemäßen elektrischen Verbindungen des Endprodukts zu gewährleisten. Der CONCEPT 2 Reaktor verwendet einen rotierenden Polsterkopf, um einen gleichbleibenden Kontakt zwischen dem Wafer und dem Polierkissen zu schaffen. Dies ermöglicht ein gleichmäßigeres Polieren der Waferoberfläche. Der Reaktor weist außerdem eine verbesserte Wasserfördereinrichtung auf, die die Gleichmäßigkeit des Polierprozesses weiter erhöht. Das Wasserfördersystem erhöht die Planarisierungsraten auf bis zu 40% und kann je nach Anwendung eingestellt werden. Zusätzlich hat der neue Reaktor einen deutlich verminderten Geräuschpegel und eine effizientere Wärmemanagementeinheit, die zur Verlängerung der Lebensdauer der Komponenten beiträgt. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor nutzt eine Vielzahl von anspruchsvollen Funktionen, wie Neigungskorrektur, verschiedene Drucksteuerungen und fortschrittliche Feedback-Regulierung, um Oberflächengleichheit zu verbessern und die Betriebskosten zu reduzieren. Die Neigungskorrektur sorgt dafür, dass der Basisdruck des Wafers während des gesamten Polierprozesses konstant bleibt. Die Druckregelsysteme ermöglichen eine präzise Steuerung der auf den Wafer aufgebrachten Druckmenge. Dieser Parameter kann angepasst werden, um Wärmespots zu vermeiden, Waferschäden zu reduzieren und die Polierergebnisse zu verbessern. Die fortschrittliche Feedback-Regelungsmaschine überwacht die Prozessparameter und ermöglicht eine Echtzeit-Optimierung des Polierprozesses. Neben der fortschrittlichen Technologie CONCEPT 2 Reaktor bietet, ist es auch effizienter als andere CMP-Reaktoren. Das verbesserte Thermomanagement-Tool, das fortschrittliche Düsendesign und die optimierte Prozesskontrolle helfen, die Produkttemperatur zu reduzieren und den Materialverlust zu reduzieren. Dies führt zu schnelleren Zykluszeiten und höheren Ausbeuten. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor bietet auch überlegene Anwendersteuerung und Diagnosefunktionen. Der Reaktor ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Produktionsmanagementsystemen kompatibel, die es Anwendern ermöglichen, den Betrieb des Reaktors genau zu überwachen und eventuelle Probleme zu beheben. Insgesamt bietet CONCEPT 2 CMP-Reaktor verbesserte Leistung, höhere Effizienz und verbesserte Benutzersteuerungsfunktionen. Die in diesen Reaktor integrierten fortschrittlichen Technologien machen ihn zur perfekten Wahl, um den komplexen Anforderungen der Halbleiterproduktion gerecht zu werden.