Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist ein hochmodernes Produktionswerkzeug, das speziell entwickelt wurde, um den Metallabscheidungsprozess für die Herstellung von Halbleiterchips zu verbessern. Der Reaktor eignet sich hervorragend für die Abscheidung von schmalem bis mittlerem Kupfer RDL (Umverteilungsschicht) und mehrfachem dielektrischem Material (MDM). Diese Art der Abscheidung ist ein entscheidender Schritt im Herstellungsprozess fortschrittlicher Mikrochipgeräte. Der CONCEPT 2 Reaktor verfügt über eine einzigartige Prozesskammer, die kaustisch gepumpten Druck auf den Prozess ausübt, und eine rohrförmige Umgebung des rückseitigen Betriebs, die die Abscheidungsgleichmäßigkeit und die Schrittabdeckung optimiert. In dieser Kammer befindet sich auch eine Niederdruckdampfanlage zur sicheren und effizienten Regelung der Prozesstemperatur. Dieses System hilft, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT 2 umfasst auch eine integrierte fortschrittliche Prozesssteuerung, die Druck, Temperatur, Gasversorgung und andere Parameter über das Substrat überwacht und reguliert, um eine maximale Prozesskontrolle zu gewährleisten. Diese Funktion gewährleistet gleichbleibend hochwertige Ablagerungen mit minimalen Variationen. KONZEPT 2 schließt einen eingebauten variablen Frequenzgenerator ein, der regulierbare Frequenzen, Mehrfrequenzoperation und Hochleistungsmachtfrequenzschaltungsfähigkeiten anbietet. Dieser Generator erzeugt ein gepulstes HF-Energiefeld, das die Leistung des Abscheidungsprozesses verbessert. NOVELLUS CONCEPT 2 ist in der Lage, den Inertgasbetrieb zu automatisieren, eine gleichmäßige Gasbeladung und Druckregelung über das gesamte Substrat zu gewährleisten sowie interne Injektorhöhen und Segmenttemperaturen einzeln zu steuern. Diese Funktion ermöglicht eine präzise Steuerung des Prozessflusses und trägt zur Gewährleistung konsistenter Leistung bei. CONCEPT 2 bietet darüber hinaus eine hocheffiziente Partikelfangtechnologie, die die Partikelleistung während der Abscheidungsprozesse verbessert und die Zykluszeiten erhöht. Der Reaktor weist eine berührungslose Schwingungsisolationsmaschine auf, die Schwingungen vom Substrat isoliert, was zu verbessertem Durchsatz und Gleichmäßigkeit führt. Abschließend ist der NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ein fortschrittliches Produktionswerkzeug zur Verbesserung des Metallabscheidungsprozesses für die Herstellung von Halbleiterchips. Das integrierte Prozesssteuerungswerkzeug des Reaktors, der Generator mit variabler Frequenz, der Inertgasbetrieb und die Partikelfangtechnologie tragen dazu bei, die Zykluszeiten zu erhöhen und die Prozessleistung und -kontrolle zu verbessern.