Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9315487 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist eine umweltfreundliche reaktive Ionenätzanlage, die für präzise Ätzfunktionen mit hochdichtem Plasma entwickelt wurde. Die Reaktantgase werden erhitzt, um das Plasma bildende Gas zu ionisieren, wodurch das Gas zu einer metallischen Oberfläche hin beschleunigt wird. Wenn die Reaktanten-Ionen auf das Metall treffen, wird die Energie der einzelnen Ionen aufgewendet, um Metallatome von der Oberfläche zu entfernen. Darüber hinaus ermöglicht dies eine hohe Kontrolle des Ätzprozesses, um ein einheitliches Substrat zu schaffen. Dies ist der Ansatz der CONCEPT 2-Lösung. NOVELLUS CONCEPT 2 System ermöglicht Anwendern höhere Produktivität, längere Laufzeiten und eine verbesserte Prozesssteuerung. Es ist in der Lage, Schichten jeder Dicke zu handhaben, von ultradünnen Schichten zu dickeren Strukturen. Die Durchflussraten können in der Reihenfolge fein eingestellt werden, um die erforderlichen geätzten Strukturen zu erzeugen. Das Gerät verfügt über mehrere Funktionen, die auf Umweltschutz und höchste Sauberkeit während des Betriebs ausgelegt sind. Dazu gehören eine Luftrecyclingmaschine zum Herausfiltern von Partikeln, eine zweite Wand am Einspeisepunkt, um zu verhindern, dass Reaktanden in die Außenumgebung austreten, sowie eine eigene Abgasleitung, die Reaktionen von den Produktionsbereichen wegleitet. Das Tool CONCEPT 2 ist sehr effizient und bietet bis zu 30% weniger Bearbeitungsschritte als andere RIE-Systeme. Das gesamte Asset, einschließlich Netzteile und Controller, sind an die Anwendung angepasst, sodass Benutzer ihr Setup nach Bedarf anpassen können. Das Modell enthält auch eine optionale Funktion zur aktuellen Abstimmung, mit der Benutzer die Leistungseinstellungen anpassen können, um ideale Ergebnisse zu erzielen. Dies ist eine nützliche Funktion, da sie Zeit spart und die Geräteleistung verbessert. NOVELLUS CONCEPT 2 kommt auch mit einem vollen Satz von Steuerungsfunktionen. Diese ermöglichen es Anwendern, die Prozessparameter wie Ätzrate, Temperatur, Gasfluss und Druck genau zu steuern. Zusätzlich kann das System über eine grafische Benutzeroberfläche fernüberwacht und eingestellt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass das gewünschte Ätzergebnis konsistent erreicht werden kann. Insgesamt ist CONCEPT 2 eine hochfähige Ätzeinheit, die Präzision und erweiterte Steuerungsfunktionen bietet. Durch die deutliche Reduzierung der Verarbeitungsschritte und mit seinen robusten Sicherheitsprotokollen ist NOVELLUS CONCEPT 2 für eine Vielzahl von Anwendungen, vom Dünnschichtätzen bis zur fortschrittlichen Geräteherstellung, gut geeignet.