Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9315488 zu verkaufen
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ID: 9315488
CVD System, 8"
Mainframe
Wafer type: Notch
System and module controller: MC1
SSD
Index robot: Type II
Magnetron 7 Transfer robot
Endpoint detector
Sequel chamber:
Sequel express
DLCM: S1253
Process type: SION
IOC Version: 4.2
Gas box configurations:
Gas line / Gas flow (SCCM) / MFC Make / MFC Model
SiH4 / 750 / HORIBA / Z512
N2 / 5000 / UNIT / UFC1661
SiH4 350 HORIBA / Z512
He / 10000 / UNIT / UFC1661
NH3 / 10000 / UNIT / UFC1661
He (Aux) / 1000 / UNIT / UFC1661
NF3 / 5000 / UNIT / UFC1661
N2O / 20000 / UNIT / UFC1661
N2 / 12000 / UNIT / UFC1661
CO2 / 20000 / UNIT / UFC1661
CE Marked
2001 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist eine fortschrittliche Technologie chemische Ätzausrüstung, die die Bedürfnisse des Fertigungssektors erfüllt, indem sie ein überlegenes Maß an Prozesskontrolle und Produktivität bietet. Dieses äußerst erfolgreiche Ätzsystem wurde entwickelt, um höchste Produktivität, Präzision und Qualitätssicherung zu gewährleisten. Es basiert auf einem robusten Design, das fortschrittliche Funktionen aus dem NOVELLUS Concept 1tm Feature Set kombiniert, neben anderen hochmodernen Technologien. CONCEPT 2 Reaktor ist eine integrierte chemische Ätzeinheit, die mehrere Funktionen umfasst, die eine überlegene Prozesssteuerung und Produktivität bieten. Die Maschine nutzt fortschrittliche technische Funktionen, um eine konsistente Ätztiefe für jeden Musterort sicherzustellen und die komplexesten Ätzvorgänge zu unterstützen. Das Einspeiseschleifensteuerungstool bietet eine verbesserte Prozesskontrolle und Genauigkeit, so dass es hohe Anforderungen in der Produktion und für Prototypen erfüllen kann. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist entworfen, um in einer temperaturgeregelten Umgebung von 10 ° bis 80 ° Celsius zu arbeiten und ist ideal für den Einsatz mit einer Vielzahl von Substraten, wie Silizium, Wolfram, Gold und anderen. Dieser Reaktor beinhaltet auch eine Lasererkennungsanlage, die zur Identifizierung und Verhinderung von Beschädigungen des zu ätzenden Materials verwendet wird. Das Modell enthält auch eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten, die die Produktivität verbessern sollen, wie einstellbare Leistungsstufen bis zu 2000 W, optimierte Prozessparameter für die Detailätzung, die Fähigkeit, Ätzparameter von einem Auftrag zum nächsten zu übertragen und Unterstützung für mehrere Proben pro Kammer. Zu den fortschrittlichen Eigenschaften dieser Ausrüstung gehört auch die Fähigkeit, die In-situ-Temperatur des Substrats genau zu steuern. Darüber hinaus verfügt der CONCEPT 2-Reaktor über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, wie z. B. eine Not-Aus-Taste, Verriegelungskontakte und über Temperaturregelungssysteme. Der Reaktor nutzt auch eine Reihe von chemischen Abgabesystemen und Sensortechnologien, die zur präzisen Dosierung und Überwachung des Ätzprozesses eingesetzt werden. Dieses hochentwickelte Ätzsystem wurde entwickelt, um höchste Produktivität und Präzision zu bieten und gleichzeitig Produktqualität und Sicherheit zu gewährleisten. Der NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist für den Einsatz in jeder Produktionsumgebung geeignet.
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