Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9316802 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein CVD-Reaktor zur Abscheidung von Siliziumnitrid, Siliziumoxid und anderen dielektrischen und Barrierefilmen. Sie wird in Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen wie Kupferleiterbahnen, Diffusionsbarrieren und Schutzschichten eingesetzt. Der CONCEPT 2 Reaktor ist dank seines innovativen Designs und seiner hochwertigen Komponenten in der Lage, überlegene Leistung und Zuverlässigkeit gegenüber herkömmlichen Methoden zu liefern. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktoren verwenden eine rechteckige Reaktionskammer, einen Waferboot-Substrathalter und ein fortschrittliches Gasfördersystem, um ein effektives CVD-Verfahren bereitzustellen. Dieses System wird von einem erweiterten Softwarepaket und Controller angetrieben, um die CVD-Prozesseffizienz zu maximieren. Der Reaktor CONCEPT 2 ist mit einer Drei-Elektroden-Magnetron-Sputterquelle, einer Gleichspannungs-Plasmaquelle, einer Niederspannungs-Quelle (LV) und einer Hochspannungs-Quelle (HV) ausgestattet. Die Magnetronsputterquelle sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung dünner Schichten aus Nitriden und Oxiden, während die Gleichstrom-Plasmaquelle für planarisierte Schichten aus Nitrid und Oxid verwendet wird. Die LV- und HV-Quellen bieten zusätzliche Funktionalitäten wie plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), Silizidierung und Ionenplattierung. Um die Substrate vor Kontamination zu schützen, ist der NOVELLUS CONCEPT 2 CVD-Reaktor mit mehreren Funktionen ausgestattet, die eine saubere und gleichmäßige Abscheidung gewährleisten. Zunächst isoliert das proprietäre Jetfilm-Schutzmodul den Abscheidungsprozess von Kammerverunreinigungen und verhindert das Rückströmen fluorhaltiger Spezies. Der Reaktor verwendet auch hocheffiziente gefilterte Aufzüge, Niedertemperatur-Wafer-Ladesysteme und korrosionsbeständige Heizungen, um den Verunreinigungsaufbau innerhalb der Kammer zu minimieren. CONCEPT 2 ist mit hochpräziser Automatisierung und Steuerung weiterentwickelt, um eine zuverlässige Prozessleistung zu gewährleisten. Es bietet ein robustes und genaues Wafer-Boot-Positionierungssystem, erweiterte Rezept-Ausführungsfunktionen und mehrere Funktionen, um die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor ist ein sehr vielseitiges Werkzeug, das alle Geräteanforderungen für modernste Anwendungen in Dielektrikum und Barrieren erfüllen kann.