Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 #9408537 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die Herstellung von Dünnschichtabscheidungsprozessen mit hohem Volumen ausgelegt ist. Es eignet sich insbesondere für mehrschichtige Dünnschichtanwendungen in der Halbleiterindustrie. CONCEPT 2 nutzt eine dynamische Verarbeitungstechnologie mit einer Reihe einzigartiger Funktionen, um branchenführende Leistung zu liefern. Die Struktur von NOVELLUS CONCEPT 2 ist ein einstückiges Edelstahl-Baugefäß, das mit einer korrosiven „Lösung“ ausgekleidet ist, um eine effiziente und kostengünstige Verarbeitung zu ermöglichen. Der Reaktor verwendet unabhängige Heizzonen, um eine effiziente und wiederholbare Verarbeitung von Materialien zu erreichen. Jede Zone verfügt über unabhängige Heiz- und Kühlfunktionen, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Das CONCEPT 2 verfügt zudem über eine Rückkopplungseinrichtung, die eine Echtzeitsteuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Dieses System ermöglicht eine präzise Regelung der Temperatur und des Drucks innerhalb der Kammer, und mit Hilfe eines In-situ-Abscheideraten-Monitors ist es in der Lage, die Abscheiderate genau zu steuern. Der NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor sorgt für optimalen Kammerschutz, um Sauberkeit zu erhalten und Verschmutzungen der Kammeroberflächen zu vermeiden. Es verfügt über zwei Trennventile, zwei O-Ringe und zwei filmisolierte Dichtungen, um die Kammer von der Außenatmosphäre zu isolieren, sowie spezielle Staubemissionseinheit, um die im Betrieb entstehenden Staub- und Partikelwerte zu reduzieren. CONCEPT 2 bietet hochgenaue Prozessbedingungen für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Es überwacht automatisch Maschinendruck, Temperatur und andere Parameter, die korrekte Bedingungen für die Abscheidungsgenauigkeit und Erträge gewährleisten. Es verwendet eine Mehrzonenarchitektur zur einheitlichen und präzisen Kontrolle der Abscheideraten. Das Tool bietet auch Echtzeit-Daten-Feedback, so dass eine viel genauere Steuerung als mit anderen CVD-Reaktortechnologien möglich ist. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS CONCEPT 2 über eine einfache Bedienerfunktion, um einen wirtschaftlichen und effizienten Betrieb der Anlage bei minimaler Wartung zu gewährleisten. Dazu gehören automatisches Be- und Entladen von Wafern, Temperatur- und Druckregelungssysteme sowie ein eingebauter In-situ-Rate-Monitor. Darüber hinaus ist CONCEPT 2 mit verschiedenen Quelltechnologien kompatibel und ermöglicht unglaublich vielseitige Funktionen. Insgesamt ist der NOVELLUS CONCEPT 2 Reaktor eine ausgezeichnete Wahl für genaue, wiederholbare und zuverlässige Dünnschichtabscheidungsprozesse. Seine dynamische Verarbeitungstechnologie, überlegener Kammerschutz, unabhängige Heizzonen und Echtzeit-Rückkopplungssysteme machen es zur perfekten Wahl für Anwendungen mit hohem Volumen in der Halbleiterindustrie.