Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Altus #293767143 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Altus ist ein Hochleistungs-Chemiereaktor im industriellen Maßstab von NOVELLUS Systems. Es ist eine flexible Prozesslösung für fortschrittliche Filmabscheidungsanwendungen in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiter, Flachbildschirm und Datenspeicherung. Konzept 3 Altus führt thermische CVD (Chemical Vapor Deposition) und ALD (Atomic Layer Deposition) durch, die Prozesse zur Erzeugung präziser, gleichmäßiger dünner Filme auf mehreren Substraten sind. Dieser Reaktor ist modular aufgebaut und verfügt über eine Vormontageausrüstung für verbesserte Installation und Wartung. Eine dynamische Spülregelung kann auf optimierte Leistung eingestellt werden. Dieser Reaktor ist mit mehreren zusätzlichen Funktionen ausgestattet, um eine optimale Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten. Der Prozeßeinlaßgastrockner ist integriert, wodurch partikelfreies Trockengas entsteht. VPS (Vacuum Pressure Switching) Technologie ermöglicht Mehrzonenprozesse. Es hat auch ein eingebautes schnelles Ladesystem. NOVELLUS Concept 3 Altus Reaktor hat eine proprietäre, wartungsarme Heizung. Dabei wird eine elektrische Wärmetransportschleife verwendet, um die thermische Beanspruchung des Substrats zu verringern. Darüber hinaus verfügt es über eine spezielle thermische Profilmaschine, die präzise Temperaturzonen genau auf die Prozessanforderungen abgestimmt schafft. Darüber hinaus gewährleistet die fortschrittliche Motorsteuerungstechnologie genaue, präzise und wiederholbare Bewegungsprofile. Concept 3 Altus ist einer der fortschrittlichsten chemischen Reaktoren im industriellen Maßstab seiner Klasse. Es bietet maximalen Durchsatz, geringere Kosten und erstaunliche Leistung und ist somit eine äußerst wettbewerbsfähige Prozesslösung für überlegene Folienabscheidungsanwendungen. Seine fortschrittlichen Technologien und Funktionen sorgen jedes Mal für zuverlässige und konsistente Prozesse.