Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Altus (C3A) ist ein branchenführender Reaktor für die Halbleiterherstellung. Die C3A bietet konkurrenzlose Leistung und Vielseitigkeit in kontrollierten Materialeigenschaften und Prozessparametern. Das C3A verfügt über eine große rechteckige Kammer, die bis zu drei thermische Prozesse aufnehmen kann, bei denen mehrere Temperaturen, Drücke, Strömungen und andere Prozessbedingungen auftreten können. Jeder dieser Prozesse kann unabhängig gesteuert werden. Die Plattform verfügt über eine integrierte interaktive Steuerungsausrüstung mit einer umfangreichen Palette automatisierter Funktionen, so dass genaue Bedingungen in der Kammer einfach eingerichtet und aufrechterhalten werden können. Das C3A verfügt auch intern über ein Twin-Revolver-System, mit dem mehrere CVD-Kammern (Chemical Vapor Deposition) innerhalb derselben Einheit verwendet werden können. Dies ermöglicht große Prozessabläufe, die über das hinausgehen, was andere Systeme ähnlicher Größe erreichen können. Die Funktionen des C3A erweitern sich mit der Implementierung der Smart Chamber Sensing Technologie weiter. Diese Technologie hilft Betreibern, die Prozessbedingungen in Echtzeit anzupassen, indem sie die Bedingungen innerhalb der Kammer erfassen und überwachen. Dadurch ergibt sich eine sehr gleichmäßige Beschichtung, die großflächig eine Wiederholbarkeit von ± 0,1 µ ergibt. Das C3A verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale wie heiße Abgas- und Druckabfallsensoren, eine implosive Schutzmaschine und gekühlte thermische Plattformen, die kleinen Partikeln helfen, sich aus der Kammer zu entladen. Diese Sicherheitsfunktionen schützen das Werkzeug vor möglichen versehentlichen Schäden. Insgesamt ist Concept 3 Altus ein revolutionäres Reaktorvermögen, das hinsichtlich Vielseitigkeit und Leistung nicht gleich ist, wenn es darum geht, wiederholbare und einheitliche Ergebnisse in der Halbleiterproduktion zu liefern. Mit seinen vielfältigen Prozessbedingungen, Sicherheitsmerkmalen und der Smart Chamber Sensing Technologie ist das C3A eine kostengünstige Lösung, die genau auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten werden kann.