Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9259673 zu verkaufen
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ID: 9259673
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
Degas: Left and right
(2) Q300 AL
Q300 TIN
HCM TIN
HCM TAN
Cooler
EFEM / WTS-HV
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
User interface location: Right with keyboard, mouse and monitor
User interface configuration: Clean room wall interface
(25) Wafers / FOUPs
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
(2) Magnatran 7 Robots
Robot blades: Ceramic, dual
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
Left and right load lock:
(2) PFEIFFER TMH 071P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
Left and right degas:
(2) PFEIFFER TMU 521P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
PFEIFFER / BALZERS TMH 071P Turbo pump
(2) Q300 AL and Q300 TIN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
AERA FC-980C Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
INFICON Ion gauge
ANAFAZER Module
HCM TI and HCM TAN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
MKS Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
(4) CTI 9600 Compressors
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
MPD (WTS-HV)
General rack:
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT ist ein innovativer Reaktor, der die Grenzen der logischen Skalierungstechnologie erweitern soll. Der Reaktor verwendet ein Intra-Die-Ätzverfahren, um Form, Größe und Profil von Merkmalen auf Halbleiterscheiben zu steuern. Der Inova XT Reaktor ist ideal für Mikromusteranwendungen, wenn Präzision und Genauigkeit gefragt sind. Der Inova XT Reaktor nutzt ein einzigartiges, patentiertes Flusshohlraumdesign, das es ermöglicht, Präzisionsätzen mit hoher Genauigkeit zu erreichen. Der Reaktor besteht aus einer Plasmaquelle, die mit einer Kurs- und Feindüseneinrichtung integriert ist, die von einem einzigen Bediener gesteuert werden kann. Dieses System ist in der Lage, gut definierte Ätzprofile unter Beibehaltung einer streng kontrollierten Ätzrate zu erzeugen. Der Inova XT Reaktor ist auf die immer strengeren Anforderungen fortschrittlicher Prozesse zugeschnitten. Der Reaktor verfügt über eine eingebaute Badätzeinheit, die proaktiv alle letzten Tröpfchen und Verunreinigungen entfernt. Beseitigung der Unordnung im Zusammenhang mit anderen Reaktoren. Diese Maschine hilft auch Verschmutzungen zu verhindern und fördert die überlegene Wafer-zu-Wafer Wiederholbarkeit. Die Inova XT ist auch in der Lage, simultan zu ätzen, sowie gestaffelte Ätzungen. Durch das gestaffelte Ätzen können die Operatoren die Eckenrundung minimieren und den Durchsatz kleiner Formelementgrößen verbessern. Die Flex-Etch-Technologie des Reaktors ermöglicht auch die Erstellung individueller Rezepte für bestimmte Anwendungen. Dadurch kann der Anwender den Ätzprozess auf die Anforderungen seines spezifischen Prozesses oder Substrats abstimmen. Die Inova XT verfügt zudem über das Design einer kostengünstigen Lösung. Seine einzigartige Architektur ermöglicht eine signifikante Reduzierung der Anzahl von Teilen und Pumpen, die typischerweise für andere Reaktoren benötigt werden. Das senkt Betriebsaufwand und Energieverbrauch. Darüber hinaus verfügt der Reaktor auch über eine eingebaute adaptive Flexibilität, um den Zeitaufwand für den Wechsel zwischen Prozessen zu reduzieren. Concept 3 Inova XT ist ein unglaublicher Ätzreaktor, der die Präzision von Läppwafern mit der Effizienz von geätzten Funktionen bietet. Der Inova XT Reaktor ist mit seinem patentierten Flussmittelkonzept und dem eingebauten Badätzwerkzeug eine kostengünstige Lösung, die Halbleiterherstellern helfen kann, Pin-Point-Genauigkeit, überlegene Wiederholbarkeit und erhöhten Durchsatz bei reduzierten Energiekosten zu erreichen.
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