Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Inova XT ist ein hochmoderner Reaktor für die Herstellung integrierter Schaltungen. Dieser Reaktor ermöglicht eine überlegene Dünnschichtabscheidung unter Verwendung fortgeschrittener Hochtemperaturverfahren wie chemischer Aufdampfung (CVD), Atomschichtabscheidung (ALD) und physikalischer Aufdampfung (PVD). Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, einschließlich Kupfer, Titan, Aluminium und Siliziumoxide, so dass es bei der Schaffung einer Reihe von verschiedenen Komponenten verwendet werden kann. Dieser Reaktor besteht aus drei Hauptkomponenten: der Plasmaquelle, der Hauptkammer und dem Abgasturm. Die Plasmaquelle lenkt eine Quelle von hochenergetischen Molekülen, die eine Ionisation der Gasatome in der Prozesskammer bewirken. Dies ermöglicht eine Reaktion mit dem zu verarbeitenden Material. Die Hauptkammer hält das zu bearbeitende Material und steuert die Temperatur und den Druck der Ausrüstung. Der Auspuffturm hilft, Schadstoffpartikel von der Reaktion und dem verarbeiteten Material fernzuhalten. Concept 3 Inova XT ist in der Lage, extrem präzise Prozesse mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit. Seine Mehrzonensteuerung hilft, eine gleichmäßige Abscheidung zu erreichen, ohne dass Kontaminationsprobleme über das Werkstück entstehen. Es kann für eine Vielzahl von Prozessparametern programmiert werden, die die Auswahl der optimalen Prozesseinstellungen für maximale Dünnschichtleistung ermöglichen. Die Hauptkammer dieses Reaktors ist hochtemperaturisoliert, um eine ausgezeichnete Wärmeeffizienz sowie thermische Gleichmäßigkeit über die Kammer zu gewährleisten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Temperatur innerhalb optimaler Betriebsparameter bleibt. Die Kammer ist ferner mit einem automatisierten Folgesystem ausgestattet, das eine genaue Steuerung der Position der Gase und der Zielmaterialien in der Kammer während der Verarbeitung ermöglicht. Dies ermöglicht eine optimierte Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus ist NOVELLUS Concept 3 Inova XT mit einer Echtzeit-Überwachungseinheit ausgestattet, die eine Prozesssteuerung ermöglicht. Insgesamt ist Concept 3 Inova XT eine hochentwickelte Reaktormaschine, die hervorragende Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten sowohl für den Kupferintegrationsprozess als auch für eine Reihe weiterer verwandter Prozesse bietet. Seine Hochtemperatur-Mehrzonensteuerung sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung und eine ausgezeichnete thermische Effizienz während des gesamten Prozesses. Es ist auch in der Lage, den gesamten Prozess in Echtzeit zu überwachen, was eine optimierte Prozesswiederholbarkeit ermöglicht und die Auswahl der optimalen Einstellungen für maximale Dünnschichtprozessleistung ermöglicht.