Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Inova #293638673 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Inova ist ein kristalliner CVD-Reaktor, der zur Abscheidung chemischer Spezies auf einem Substrat verwendet wird. Das Abscheideverfahren wird typischerweise in einer Vakuumkammer durchgeführt und eignet sich ideal zur Herstellung einer Vielzahl von Halbleiter- und verwandten Materialien. Ziel des Konzept-3-Inova-CVD-Reaktors ist es, bei relativ niedrigen Temperaturen die Abscheidung hochwertiger Materialien mit geringer Fehlerdichte und gleichmäßiger Abscheidung zu ermöglichen. Der Inova verfügt über eine modulare Duschkopfkonstruktion mit zwei Quellen und automatischen Ein- und Auslässen, wodurch ein höherer Durchsatz als bei herkömmlichen Reaktoren erzielt wird. Der flexible modulare Aufbau ermöglicht sowohl vertikale als auch horizontale Waferorientierungen sowie eine Vielzahl von Gasförder- und Abgassystemen. Mit seinem innovativen Design ist die Inova in der Lage, eine Vielzahl von Prozessintegrationsrezepten durchzuführen. Der CVD-Reaktor verwendet eine Vielzahl von Prozessgasen und verfügt über einen ausgezeichneten Temperaturregelbereich, der eingestellt werden kann, um die Qualität des abgeschiedenen Materials zu maximieren. NOVELLUS Concept 3 Inova eignet sich für die Prozessoptimierung, da es mit einem Quarzeinlassfenster, einem fortschrittlichen Heizsystem und anderer spezialisierter Hardware ausgestattet ist, die einen optimalen Temperaturbereich und eine Gleichmäßigkeit für einen bestimmten Prozess gewährleistet, wodurch weitere Prozessanpassungen entfallen. Darüber hinaus ermöglichen das Design mehrerer Elektroden, das automatische Be- und Entladen sowie automatisierte Funktionen die Anpassung von Prozessrezepten an die Bedürfnisse des Kunden. Der Inova CVD Reaktor ist für die großflächige/kleinflächige Abscheidung und konforme Abscheidung von Materialien für eine Vielzahl von optoelektronischen, Nanofabrikations- und MEMS-Anwendungen konzipiert. Mit fortschrittlichen Funktionen wie Hochtemperaturfähigkeit, Echtzeit-Endpunkterkennung und Qualitätskontrolle ist der Inova eine ideale Wahl für Kunden, die Hochleistungs-CVD-Reaktoren benötigen. Das System ist mit einem Direct Drive Showerhead ausgestattet, der eine präzise Prozesssteuerung und schnelle Reaktionszeiten ermöglicht. Es ist auch vollständig in-situ Reinigung fähig, ermöglicht überlegene Folienqualität und Abscheidung Gleichmäßigkeit Kontrolle. Insgesamt ist Concept 3 Inova ein hochmodernes CVD-Reaktorsystem, das überlegene Abscheidungsleistung und hervorragende Qualitätskontrollfunktionen bietet. Der Reaktor ist extrem vielseitig einsetzbar und bietet eine große Flexibilität, was ihn zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Halbleiter- und fortgeschrittenen Materialabscheidungsanwendungen macht.