Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672 zu verkaufen
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ID: 9259672
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor ist eine Reaktoranlage mit hohem Durchsatz für die Synthese von Feinchemikalien. Es ist für den Einsatz in F&E- und Scale-up-Anwendungen konzipiert. Das System kann verwendet werden, um eine Reihe von Verbindungen zu synthetisieren, einschließlich Pharmazeutika, Agrochemikalien, Aromen und Duftstoffe, und Polymere. Das Gerät verfügt über einen dreistufigen Durchlaufreaktor, der eine zuverlässige und konsistente Synthese verschiedener Materialien ermöglicht. Die erste Stufe ist ein Spritzgußreaktor, in dem ein beheizter Flüssigkeitsstrom mit Reaktanden und Katalysator gemischt wird. Die Heizung überwacht die Temperatur des Stroms und kann den Strom auf Temperaturen zwischen 50 und 400 ° C erwärmen. Die zweite Stufe ist ein Rührgefäß, in dem homogene Mischungen erfolgen, um einen effizienten und vollständigen Umsatz der Reaktionspartner zu ermöglichen. Die dritte Stufe ist ein Separator, bei dem die Reaktionsprodukte abgetrennt und gesammelt werden. Concept 3 Inova Reactor ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, einschließlich einer Bordgasüberwachungsmaschine, automatisierter Abschaltung im Falle eines Überdrucks, automatischer Sperrung gefährlicher Gase und Notabschalteinrichtungen. Der Reaktor ist zudem mit einem computergestützten Steuerwerkzeug ausgestattet, das die Überwachung und Steuerung der Asset-Parameter ermöglicht. Es kann mit Computern oder programmierbaren Logikcontrollern (SPS) für eine effiziente Prozessüberwachung, Steuerung, Automatisierung und Datenprotokollierung verbunden werden. Der Reaktor ist außerdem mit einer elektrischen Heizung ausgestattet, mit der die Reaktionstemperatur gesteuert werden kann. Diese Heizung ist in einem Bereich von -50 bis + 250 ° C verstellbar. Darüber hinaus ist das Modell für die Verwendung mit einer Vielzahl von Katalysatoren ausgelegt und kann Änderungen der Reaktionsbedingungen und Betriebsgrößen aufnehmen. Um die Zeit und den Aufwand für die Reaktorreinigung zu reduzieren, verfügt NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor über automatisierte Reinigungssysteme. Diese Systeme verwenden eine Kombination aus mechanischen und chemischen Behandlungsmethoden, um die Reaktorkammer automatisch und gründlich zu reinigen. Die erforderliche Reinigungszeit kann um bis zu 90% reduziert werden, wodurch die Prozeßzyklusabwicklung beschleunigt wird. Concept 3 Inova Reactor ist ein hocheffizientes und kostengünstiges Werkzeug zur Herstellung von Kleinmolekülen und Feinchemikalien in Forschung, Entwicklung und Scale-up-Anwendungen. Das dreistufige Durchflussreaktor-Design, Sicherheitsmerkmale, computerbasierte Steuergeräte und automatisierte Reinigungssysteme tragen zur Effizienz und Wirksamkeit des Systems bei und machen es zu einer bevorzugten Wahl für viele Anwendungen.
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