Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157 zu verkaufen

NOVELLUS Concept III Speed Max ist ein Hochleistungs-CVD-Reaktor (Vertical Chemical Vapor Deposition) für die Abscheidung von dünnen Schichten in der Halbleiterindustrie. Es ist eine hohe Produktivität, skalierbar erweiterbar und konfigurierbare Plattform. Der Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen von Metall bis polykristallinem Silizium durchzuführen und ist in der Lage, mit einer branchenführenden Abscheidungsgeschwindigkeit durchzuführen. NOVELLUS Concept III Speed Max wurde speziell für den Anwender entwickelt. Die Plattform ist einfach zu konfigurieren, zu warten und in einer Vielzahl von Betriebsbedingungen zu betreiben. Es verfügt über eine vollautomatische Kammer, einstellbare Gasströme und -drücke sowie eine kinematische Verknüpfung, die hochpräzise und wiederholbare Prozessparameter ermöglicht. Die Kammer verfügt außerdem über ein Durchflussgasfördersystem, das die manuelle Ventilwartung eliminiert. NOVELLUS Concept III Speed Max bietet Anwendern die Möglichkeit, bis zu fünf verschiedene Materialien gleichzeitig mit hohem Durchsatz und hoher Selektivität abzuscheiden. Die Kammer ist auch so ausgelegt, dass sie bei hohen Durchsatzraten gleichmäßige Dickenfolien abscheiden kann. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über einen verstellbaren Substrathalter, der an verschiedene Wafergrößen angepasst werden kann, und enthält eine einstellbare Reaktionszone, die genau auf jedes Material abgestimmt ist, um sicherzustellen, dass die Kammer in Spitzenleistung läuft. NOVELLUS Concept III Speed Max ist eine vielseitige Plattform mit fortschrittlicher CVD-Abscheidung für eine Vielzahl von Anwendungen. Es verfügt über eine Reihe von Leistungs- und Sicherheitsmerkmalen, die es zu einer überlegenen Wahl für Dünnschichtabscheidung machen. Der Reaktor bietet zudem eine der höchsten Durchsatzraten in der Branche und bietet Anwendern schnellere Zykluszeiten, damit sie ihre Prozessziele schneller erreichen können. Darüber hinaus bietet NOVELLUS Concept III Speed Max Benutzern die Möglichkeit, die Kammer so zu konfigurieren, dass sie maßgeschneiderte Ablagerungsrezepte und -parameter bietet, die auf ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zugeschnitten sind. Insgesamt ist der NOVELLUS Concept III Speed Max Reaktor eine leistungsstarke, vielseitige und konfigurierbare Abscheideplattform, die sich gut für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen eignet. Es bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und ist in der Lage, hohen Durchsatz und Selektivität für mehrere Materialien zu erreichen.