Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9259681 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9259681
CVD System, 12"
Wafer type: Notch
Signal tower
PEC Module
Foop: BROOKS AUTOMATION
Foop type: 3-Port
BROOKS Magnatran 7 TM Robot
TM Robot blade: Ceramic
Load lock convectron: 275 min
L/L Baratron: MKS
TM Baratron: MKS
L/L Slit valve type: VAT
Module slit valve type: SMC
PFEIFFER TM Turbo pump
MKS TM Throttle valve
VAT TM Line valve
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
ATM Robot blade: Arm metal
AWC Sensor
UI Type: LCD
EMO's: Push button
Host interface: SECS
Chaser: CRT Monitor
IOC Version: 4.72
SSD Type: C3-PDRS
(3) SMC XGT300-30-1A-X2 TM Value, P/N: 60-251903-00
Load lock value: VAT 03012-LA24-0001/0503, A-62591
Chamber A, B and C:
Chamber type: Speed max
Chamber process: ILD
ESC Type: Notch
Manometer (10T): MKS
Manometer (30T): MKS
Manometer (100m): MKS
Throttle valve: NC TBV-IQA-200-NW-50
Dual pedestal lift
LEYBOLD MAG200CT Turbo pump
ESC / Dome Cooling
Dual clean injector kit: Single RPC
Process clean type: RPC
Temperature monitoring: Dome monitor 201
ADVANCED ENERGY 10013 Navigator RF Match
VERITY EPD, P/N: 1005972
Black shield
MOOG SMART Motor
No module dry pump
Chamber A:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2/CF: 0.727 / 1.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / N2 / 300 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber B:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber C:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 0.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Missing parts:
MC3 Controller: MKS AX7670-21 3L Remote Plasma Source (RPS)
NTM Delta controller
PDX 5000 / PDX 8000 / Apex 10K Generators
Turbo pump controllers
Missing parts for chamber A, B and C:
Apex 10013 HF Generator
PDX 8000 MF Generator
PDX 5000 LF Generator
NTM
Uninterruptable Power Supply (UPS): 208 V, 50/60 Hz, 4-Wires
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 5-Wires
2007 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed Max ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor mit verbesserter Materialfilmbildung und Prozesszeitreduzierung. Es wurde hauptsächlich für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt, insbesondere für die Abscheidung von Dielektrika und Metallen. Der Speed Max-Reaktor besteht aus einer Reaktionskammer, einer Prozessgasförderanlage, einer Steuerung und einer Heizeinheit. Die Reaktionskammer ist ein in Glas geschlossenes Edelstahlgefäß, das mit automatisiertem Zubehör ausgestattet ist, um genaue Abscheidungsraten zu gewährleisten. Die Prozessgasfördermaschine ermöglicht die Steuerung und Regelung von Gasdrücken, Temperaturen und Feuchtigkeit. Das Heizwerkzeug ist leistungsstark und entworfen, um eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten Kammer aufrechtzuerhalten. Der Reaktor ist zudem mit einer fortschrittlichen Steuerung ausgestattet, die eine genaue Manipulation von Prozessparametern wie Prozessdruck, Temperatur, Gasfluss sowie Abscheideraten ermöglicht. Über dieses Modell ist auch die Echtzeitüberwachung der Kammerbedingungen einschließlich Temperatur, Druck und Gasstrom möglich. Die Speed Max verfügt auch über eine einzigartige chargenartige Abscheidung, die entworfen ist, um die Materialabscheidungszeit zu minimieren. Der Reaktor kann vorprogrammiert werden, um Filme in vorbestimmten Chargen abzuscheiden, was eine schnellere, automatisierte Produktion ermöglicht. Darüber hinaus kann die Einrichtung mit mehreren Substrathaltern ausgebildet werden, um den Prozess weiter zu beschleunigen. Der Reaktor wurde auch so konzipiert, dass er eine überlegene Prozesswiederholbarkeit bietet, was wesentlich ist, um eine zufriedenstellende Filmbildung zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt die fortschrittliche Software für wiederholbare Prozessergebnisse unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Schließlich hilft die Software auch bei der Diagnose und Optimierung potenzieller Prozessprobleme. Concept 3 Speed Max ist ein leistungsstarker und hochentwickelter Reaktor und ein Muss für Halbleiterhersteller. Es verspricht den präzisesten und schnellen Abscheideprozess mit wiederholbaren Ergebnissen. Der Speed Max bietet jetzt einen Wettbewerbsvorteil für diejenigen in der Branche, die nach den aktuellsten Ablagerungsmethoden suchen.
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