Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9281511 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Speed Max ist ein fortschrittlicher Plasmareaktor der nächsten Generation, der für fortschrittliche Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es verwendet fortschrittliche Technologie, um hohe Gleichmäßigkeit und hohe Durchsatzkapazitäten zur Verfügung zu stellen, um die strengen Anforderungen der fortschrittlichen Geräteherstellung zu erfüllen. Konzept 3 Geschwindigkeit Max verwertet die letzten Fortschritte in der Technologie der Unterdruckplasmaabsetzung (LPD), um hohe Prozesserträge und Wiederholbarkeit zu liefern. Das fortschrittliche Design und die Technik von NOVELLUS Concept 3 Speed Max ermöglichen eine verbesserte Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folie über das gesamte Substrat. Concept 3 Speed Max verwendet variable ionisierte Quelltechnologie, um den Abscheidungsprozess zu steuern, wodurch ein höheres Maß an Gleichmäßigkeit und effizientere Prozesse ermöglicht werden. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS Concept 3 Speed Max über einen Hochgeschwindigkeits-Plasmagenerator, der effizientere Prozesse mit höheren Durchsätzen ermöglicht. Das Design ermöglicht es den Geräten auch, unterschiedliche Substrathöhen und Oberflächentopologien genau zu scannen und anzupassen, um die Schattenbildung zu minimieren. Der Hochgeschwindigkeits-Scanner ermöglicht eine schnellere Abtastung des gesamten Substrats während der Abscheidephase, wodurch der Durchsatz und die Gleichmäßigkeit erhöht werden. Das Endergebnis ist eine erhöhte Geräteproduktionsrate. Darüber hinaus sorgt das Gasverteilungssystem in Concept 3 Speed Max für eine präzise Kontrolle des Abscheidungsprozesses und sorgt für gleichmäßige Oberflächeneigenschaften über das gesamte Substrat. NOVELLUS Concept 3 Speed Die fortschrittlichen Vor-Ort-Überwachungsfunktionen von Max sorgen zudem für eine präzise Prozesssteuerung. Die fortschrittliche Überwachungseinheit verfügt über eine Bordkamera mit integriertem Mikroskop zur Beobachtung der Substratoberfläche während des gesamten Abscheidungsprozesses. Diese Überwachungsmaschine bietet detaillierte Prozessinformationen und die Möglichkeit, Prozessprobleme während der Fertigungsphase zu erkennen, die Prozessvariabilität zu minimieren und die Prozesserträge zu optimieren. Concept 3 Speed Max beinhaltet auch ein robustes Reinigungs- und Substrataufbereitungsverfahren mit automatischer Wafergreifertechnologie für eine verbesserte Substratsondenplatzierung. Dieser adaptive Roboter mit mehreren Stationen sorgt für eine präzise Sondenplatzierung und sorgt für eine konsistente Wafer-Singulation. Die fortschrittliche Prozesssteuerung beinhaltet eine umfassende Bibliothek mit chemischen Rezepten und bordeigener Echtzeitkorrektur und Auswertung für reduzierte Substrat-zu-Substrat-Variation. Zusätzlich gewährleistet die fortschrittliche Prozesssteuerung eine gleichmäßige Filmdicke über den gesamten Wafer. NOVELLUS Concept 3 Speed Max ist ein hochmoderner hochmoderner Plasmareaktor, der zur Verbesserung von Prozessausbeuten und Gleichmäßigkeit bei gleichzeitiger Erhöhung der Durchsatzleistung entwickelt wurde. Die fortschrittlichen Technologien, die in dem Tool verwendet werden, einschließlich variabler ionisierter Quelle, Hochgeschwindigkeits-Plasmagenerator, fortschrittlicher In-situ-Überwachung, fortschrittlicher Prozesssteuerung und automatisierter Wafergreifer-Technologie, bieten eine optimale Lösung für die fortschrittliche Geräteherstellung.