Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9389741 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Speed Max ist ein innovatives Gerät zur Herstellung integrierter Schaltungen aus Dünnschichtmaterialien. Dieser Reaktor wurde entwickelt, um die höchste Leistung und Zuverlässigkeit in Schichten von Metalloxid-Halbleiterschaltungen (MOS) mit extrem dünnen Schichten für Anwendungen wie ultra-niedrige Leckage, eingebetteten Speicher und andere Hochleistungskomponenten zu bieten. Concept 3 Speed Max verfügt über drei separate Module, die unabhängig oder in Kombination arbeiten können. Die drei Module sind ein RIE (Reactive Ion Etch) Modul, ein CVD (Chemical Vapor Deposition) Modul und ein PECVD (Plasma Enhanced CVD) Modul. Das RIE-Modul dient zum Ätzen von Schichten aus Metalloxid in gewünschten Formen und Mustern, um spezifische Dünnschichtmerkmale zu schaffen, die bei der Herstellung von Schaltkreisen verwendet werden. Das CVD-Modul dient zum Abscheiden verschiedener Dünnschichtmaterialien in Schichten, um glatte Oberflächen zu erzeugen, Muster zu illustrieren und die Dicke der Materialien zu steuern. Das PECVD-Modul dient zum schnellen Ätzen und Abscheiden von Dünnschichtmaterialien sowie zur Strukturierung. NOVELLUS Concept 3 Speed Max verfügt über erweiterte Prozesssteuerungs- und Überwachungssysteme, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozessparameter zu optimieren, eine bessere Wiederholbarkeit zu ermöglichen und den Zeitaufwand für die Prozessentwicklung zu reduzieren. Es verfügt auch über einen Hochfrequenz (RF) -Plasmagenerator, mit dem Benutzer verschiedene Ebenen von Zwischenschichtdielektrika (ILD) gleichzeitig verarbeiten können. Der Plasmagenerator sorgt für eine verbesserte Geschwindigkeit und Genauigkeit bei Ätz- und Abscheidungsprozessen. Concept 3 Speed Max ist die einzige Ausrüstung, die extrem niedrige Leckageleistungen mit maximalen Dünnschichtschichten liefert. Es ist ideal für die Herstellung von Hochleistungsschaltungen, und es hat Wiederholbarkeit von 2 Sigma über den Produktionslauf. Es besteht aus hochwertigen Materialien und hat eine lange Lebensdauer. Seine Energie und Ressourcen werden optimal verwaltet, um die Umweltauswirkungen im Zusammenhang mit seinem Betrieb zu minimieren. NOVELLUS Concept 3 Speed Max ist das einzige Ätz- und Abscheidungssystem, das Ätz- und Abscheidungsprozesse mit extrem geringer Leckageleistung bei der Herstellung von MOS-Schaltungsschichten kombinieren kann. Es bietet qualitativ hochwertige Leistung und Zuverlässigkeit sowie kostensparende Vorteile für die Produktion von Hochleistungskomponenten. Mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Überwachungssystemen können Anwender die Effizienz dieses innovativen Reaktors maximieren und gleichzeitig den ökologischen Fußabdruck minimieren.