Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170858 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ist ein hochmoderner Reaktor zur Bildung ultradünner Filme auf Substraten. Dieser Reaktor basiert auf einem 3-Gang-Takt-Ansatz und soll den CVD-Prozess um bis zu 50% verkürzen. Es ist in der Lage, die dünnen Filme und Schritte in nur wenigen Sekunden zu bilden, was Zeit und Geld spart. Concept 3 Speed NEXT Reaktor besteht aus drei unabhängigen Quellen und einem Revolverkopf. Die drei Quellen sind Helium, Stickstoff und Argon. Der Revolverkopf ist mit drei elektrostatischen Anschlüssen ausgestattet, zwei für angewandte Ionisationsplasmaquellen und eine für die Neutralisation von Arten. Die Plasmaquelle erhöht die Reaktionsgeschwindigkeit und verbessert die Filmeigenschaften. Die Hauptvorteile des Drei-Quellen-Konzepts sind die gleichmäßige Schichtdicke, die Verringerung der thermischen Schäden und die vollständige Kontrolle der Abscheidungsparameter. Der Dreigang-Zyklusansatz verändert Druck, Temperatur und Reaktantenkonzentration. Dies ermöglicht die Bildung sehr dünner Filme oder Schritte in kurzen Abscheidezeiten. Der Dreigangzyklus sorgt dafür, dass die Folien gleichmäßig über das gesamte Substrat abgeschieden werden können. Möglich wird dies durch die ausgewogene Temperaturverteilung der drei Quellen, die verbesserte Reaktandendiffusion und die geringe thermische Schädigung empfindlicher Substrate. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT Reaktor wurde entwickelt, um den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig die Gesamtqualität der Filmbildung zu verbessern. Es verfügt über eine hohe Durchsatzfähigkeit und ermöglicht eine schnellere Reaktion auf sich ändernde Anforderungen in einer Produktionsumgebung. Darüber hinaus bietet es eine verbesserte Prozesssteuerung, eine gleichmäßige Filmdicke und eine verbesserte Gleichmäßigkeit über die Waferoberfläche. Insgesamt ist der Concept 3 Speed NEXT Reaktor ein leistungsfähiges und flexibles Werkzeug, um hochgleichmäßige Folien und Schritte in der fortschrittlichen Geräteproduktion zu schaffen. Es bietet sowohl Kosten- als auch Zeiteffizienz, die von anderen Technologien nicht abgeglichen werden kann. Dies macht es ideal für eine breite Palette von Anwendungen, die extreme Präzision und Zuverlässigkeit erfordern.