Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9203466 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9203466
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
CVD System, 12"
System information:
Process: STI/IMD
Slit valve type: SMC L-Motion
TM Turbo pump model: PFEIFFER TMH261 PXS
TM Throttle valve model: MKS
TM Baratron model: MKS
Loadlock baratron: MKS
IOC Version: V 4.6
TM Robot type: Mag 7
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Single tower
Front monitor: 12" LCD
Fab
EMO's: Push button
Host interface: GEM
ATM Robot: ATR8
VAC Robot: MAG 7
Loadlock valve: SMC
ATM Loadlock valve: VAT
Pod loader: BROOKS Fixload 6M
Module A / B / C:
Chamber type: NeXT
Chamber Process: SIT/IMP
Process clean type: NPP RPC
Module controller: MC3
Module turbo pump: LEYBOLD MAGW2000CT
Pendulum valve: MKS
Temperature monitoring: NTM500
HF Generator: AE 10K
MF Generator: AE PDX_5000
LF Generator: AE PDX_8Q00
RF Match: AE Navigator 10013 U
IOC Version: V4.72
Dual clean injector kit
Injector type: Star short
Louvered screen
Pedestal lift type: Servo motor
Foreline type: Large
EPD
Black shield
Module A:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module B:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS GF125C
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module C:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS GF125C
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
UPS Power: 120 V, 3¢, 3 Wires
Power: 208 V, 3¢, 5 Wires
2005 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT Reaktor ist ein hochmodernes Werkzeug zur chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP), das für signifikante Fortschritte bei der Polierkontrolle, Effizienz und Wiederholbarkeit entwickelt wurde. Concept 3 Speed NEXT integriert PECVD-Technologie für schnelle Abscheidung und eine einzigartige, schnelle Kurzhub-Polierausrüstung für verbesserte Leistung. Dieses System ist in der Lage, im Vergleich zu herkömmlichen CMP-Systemen einen erhöhten Durchsatz, verbesserte Gleichmäßigkeit und überlegene Wiederholbarkeit zu erzielen. Der fortschrittliche Positioniermechanismus von NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ermöglicht schnellere, präzisere Polieroperationen. Dies macht es ideal für hohe Produktionsläufe mit empfindlicher Topographie. Das einzigartige Design reduziert auch die mit dem Polierprozess verbundenen Waferschäden erheblich. Concept 3 Speed NEXT verfügt auch über eine elektro-thermische Stabilisierungseinheit, die eine gleichmäßige Temperatur über die Oberfläche eines Wafers während des CMP-Betriebs beibehält und somit konsistente Polierergebnisse gewährleistet. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ist mit einer Reihe fortschrittlicher Steuerungssysteme ausgestattet, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Servomechanismus mit geschlossenem Regelkreis, der Poliergeschwindigkeit, Kraft und Druck automatisch einstellt, sowie eine dynamische Druckausgleichsmaschine und eine temperaturgeregelte Reinigungsfähigkeit. Die reaktive Kammer ermöglicht auch die Zugabe chemischer Promotoren und Inhibitoren während des Polierprozesses für verbesserte CMP-Ergebnisse. Concept 3 Speed NEXT verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein keramisches Heizelement und eine automatische Waferkassettenbelastung, um mögliche Verletzungen weiter zu minimieren. Fortschrittliche Diagnose- und vorausschauende Wartungswerkzeuge tragen dazu bei, dass NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT sich immer im Spitzenzustand befindet. Zusammenfassend ist Concept 3 Speed NEXT ein zuverlässiges, hochmodernes chemisch-mechanisches Polierwerkzeug. Seine erweiterten Funktionen bieten überlegenen Durchsatz, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu herkömmlichen CMP-Systemen. Zahlreiche ausgeklügelte Steuerungssysteme sorgen für optimierte Leistung und zuverlässige Ergebnisse. Darüber hinaus minimieren Sicherheitsmerkmale und vorausschauende Wartungswerkzeuge das Verletzungsrisiko weiter.
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