Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9294439 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ist ein Hochgeschwindigkeitsreaktor für die Abscheidung von Metall und anderen Dünnschichtmaterialien. Das Gerät ist für den Einsatz in der Halbleiter-, MEM- und Solarzellenbranche konzipiert und kann fortschrittliche Messgrößen für die anspruchsvollsten Anwendungen liefern. Concept 3 Speed NEXT basiert auf einer tieftemperaturinduktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), die über einen Niederdruck-Plasmagenerator auf Wasserstoffbasis verfügt, der die Abscheidung einer Reihe von Metallelementen ermöglicht. Dieses System arbeitet zwischen 0,6 und 0,7 mTorr, was eine überlegene Prozesssteuerung und Flexibilität ermöglicht. Zusätzlich erhöht die ICP-Quelle durch ihren gaußförmigen Plasmafluss die Prozessgleichmäßigkeit, was die Möglichkeit von Ungleichmäßigkeiten verringert. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT verfügt über ein kompaktes, modulares Design, das Flexibilität bei der Arbeit mit einer Vielzahl von Produktgrößen ermöglicht. Die Einheit verfügt über eine Gasverteilungsmaschine, die das Verhältnis der Vorläufer ausgleicht, um eine gleichmäßige Filmwachstumsrate zu erhalten. Durch die automatische Zentrumspositionierung des Werkzeugs werden alle Fehlstellungen korrigiert, die aufgrund geringfügiger Produktbewegungen während der Produktion auftreten können. Concept 3 Speed NEXT hat die Fähigkeit, mit hoher Folienschrittabdeckung über verschiedene Produktstrukturen durch seine „Direkteinspritzung“ Abscheidetechnologie zu verarbeiten, die in einem breiteren Maßstab mit einer einzigen Injektionsquelle beschichtet. Dadurch können diskrete Metallschichten mit komplexen Geometrien geformt werden. Das Konzept beinhaltet eine überlegene Reproduzierbarkeit in Wafergröße für eine optimale Wafer-zu-Wafer-Wiederholgenauigkeit von bis zu 100 25 Mikrometer Nenndurchmesser. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ist mit modernsten Sicherheits- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Seine stickstoffgeschirmten Gefäße und intelligenten Sicherheitsfunktionen schützen das Personal vor gefährlichen Prozessmaterialien. Das Modell wurde auch entworfen, um Prozessausfallzeiten aufgrund seiner erweiterten Überwachungs- und Diagnosefunktionen zu minimieren. Diese fortschrittliche Technologie bietet höchste Geschwindigkeit und Präzision. Hochwertige Ergebnisse und überlegene Schichtgleichförmigkeit sind durch die fortschrittlichen Abscheidungssteuerungen von Concept 3 Speed NEXT erreichbar. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um einen zuverlässigen und genauen Abscheideprozess zu liefern, um Ertrag und Durchsatz zu maximieren und gleichzeitig die Kosten niedrig zu halten. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT ist die perfekte Lösung für jede anspruchsvolle Dünnschicht-Beschichtung.