Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor ist eine modulare Hochdurchsatz-Vakuumausrüstung, die speziell für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Dieses System besteht aus der Reaktorkammer, einer Pumpeinheit und dem Prozessmodul. Die Reaktorkammer ist ein einzigartiger Schrittmotor angetriebener Stahlrahmen, der entwickelt wurde, um sich während des Betriebs aufwärts, abwärts oder herum zu bewegen. Es verfügt über eine modulare Loadlock-Maschine mit hohem Durchsatz, die für mehrere Anwendungen konfiguriert werden kann, einschließlich Abscheidung, Ätzen und Oberflächenmodifizierung. Das Pumpwerkzeug besteht aus einer Vakuumpumpe, einer Drosselklappe, Gasdrosselleitungen und Filtern. Es verfügt über eine Dialyse mit hohem Durchsatz, die Niederdruck- und Hochdurchsatzoperationen ermöglicht. Die Vakuumpumpe verfügt über ein mehrstufiges Design, das einen zuverlässigen und effizienten sauberen Betrieb gewährleistet, während die Drosselklappe eine Einstellung des Modelldrucks für optimale Leistung ermöglicht. Ebenfalls vorhanden ist ein programmierbarer thermischer Regler und Gasdrosselleitungen, die eine genaue Steuerung des Gasflusses und der Temperatur ermöglichen. Das Prozessmodul ist der wichtigste Bestandteil des CONCEPT 3 Speed XT Reactors. Es umfasst eine Prozesskammer, einen Isolationsbereich, eine Stromversorgung, Prozessautomatisierung und kryogene Systeme. Die Prozesskammer verfügt über eine proprietäre homogene Prozesssteuerung für Gleichmäßigkeit in chemischen und kristallinen Strukturen. Es verfügt auch über Hardware-, Software- und automatische Roboterautomatisierungsfunktionen für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz. Der Isolationsbereich isoliert empfindliche Komponenten aus der aktiven Umgebung der Kammer, wodurch der kontinuierliche Betrieb der Ausrüstung gewährleistet ist. Das Netzteil liefert eine hochpräzise Gleichspannung für einen effizienten Betrieb. Schließlich reduziert das kryogene System die Wärme und verbessert die Gleichmäßigkeit des Prozesses. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor eine fortschrittliche, modulare Halbleiterherstellungseinheit mit einzigartigen Eigenschaften für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz. Seine modulare Ladeblockiermaschine ist leicht konfigurierbar für verschiedene Anwendungen, während sein Pumpwerkzeug sehr effizient und zuverlässig ist. Sein Prozessmodul ist das Herzstück dieser Ressource und bietet eine effiziente und präzise Steuerung chemischer und kristalliner Strukturen. Dieses Modell ist ideal für jeden Halbleiterherstellungsprozess und bietet eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung bei sehr hohen Durchsätzen.