Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870 zu verkaufen
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ID: 9382870
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12"
(3) Chambers
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Missing parts
2006 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor ist eine revolutionäre revolutionäre Technologie für schweres Ätzen und hochentwickelte CVD-Abscheidung. Die X-Serie ist eine patentierte, modulare Ausrüstung, die eine schnelle Bearbeitungszeit, überlegene Gleichmäßigkeit und erhöhte Erträge ermöglicht. Es ist perfekt für hohe Serienproduktion mit einer Vielzahl von Substraten. Mit seiner Drei-Gang-Konfiguration, robustem Design und überlegener Prozesssteuerung bietet Concept 3 Speed XT Reactor beispiellose Präzision und Reproduzierbarkeit für die anspruchsvollsten Prozesse. Der Reaktor ist sehr vielseitig einsetzbar und kann sowohl mit nassen als auch mit PECVD-Methoden betrieben werden. Es verfügt über eine offene Käfig-Konfiguration, die eine höhere Prozessgleichförmigkeit und geringere Betriebskosten im Vergleich zu seinen Vorgängern ermöglicht. Zudem ist es durch sein integriertes Wärmeübertragungssystem energieeffizient, was die Wärmeerzeugung reduziert und den Wirkungsgrad des Geräts maximiert. Die integrierte intelligente Werkzeugsteuerung ermöglicht eine effiziente Handhabung komplexer Rezepturen und einen schnellen Aufbau von Prozessen. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor bietet mit einer automatischen Reinigungsmaschine, die das Risiko einer Kontamination reduziert und die Produktivität verbessert, die höchste reflektierende und absorptive Materialhandhabungsfähigkeit seiner Klasse. Seine Auto-Shim-Funktion ermöglicht eine einfache Anpassung der Oberfläche des Werkzeugs an sich ändernde Prozessanforderungen, während das Gas-Handling-Tool die integrierten Sensoren für eine fortschrittliche Gasflusssteuerung verwendet. Concept 3 Speed XT Reactor bietet branchenführende niedrige Partikelwerte auf Produktsubstraten mit fortschrittlichen Prozessüberwachungsfunktionen. Mit seiner engen Druck- und Temperaturregelung gewährleistet dieser Reaktor eine hohe Prozessqualität und Zuverlässigkeit sowie ein höchstes Ertrag-zu-Kosten-Verhältnis über sein Substratspektrum hinweg. Darüber hinaus bietet es ein hohes Maß an Flexibilität und ermöglicht eine einfache Rekonfiguration, um den Produktionsprozess für jeden Kunden und seine Anwendung anzupassen. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor ist die perfekte Wahl für Serienhersteller mit hohen Anforderungen. Das robuste, sichere Design, die integrierte Wärmeübertragungsanlage und die erweiterten Prozesskontrollfunktionen sorgen für maximale Leistung und Einheitlichkeit. Das Auto-Shim- und Gas-Handling-Modell sorgt für einen schnelleren Aufbau und eine effizientere Handhabung mehrerer Substrate und komplexer Rezepturen. Darüber hinaus sorgt das partikelarme Design für höchste Ausbeuten und beste Prozessqualität.
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