Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed #293808529 zu verkaufen
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ID: 293808529
Wafergröße: 12"
HDP CVD System, 12"
(12) Cartons:
EFEM, TM
(3) Process modules
Chase monitor
Front monitor
AC Rack
RF Rack
NTU Box
NPP Rack
Transformer
Cables.
NOVELLUS Concept 3 Speed ist ein hochmoderner CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Das Gerät wurde entwickelt, um extrem hohe Filmreinheit und Geräteausbeute zu erzeugen, die in der Lage sind, Metall, Dielektrikum, Graphen und viele andere funktionelle Folien abzuscheiden. Concept 3 Speed ist mit einem kompakten Hochgeschwindigkeitsreaktorkern ausgestattet, der mit einer hohen Beschleunigungsrate von bis zu 30 μ m/min in einer Kammergröße von 13 Zoll Durchmesser läuft. Diese hohe Geschwindigkeit erleichtert das Abscheiden von ultradünnen Folien mit kontrollierter und gleichmäßiger Dicke. Das System verfügt auch über eine Dual Air Flow Unit (DAFS), um homogene Prozessparameter und einen niedrigen thermischen Flaschenhals sowie ein fortschrittliches Wafer-Spannfutter für eine genaue Wafer-Kontrolle zu erhalten. NOVELLUS Concept 3 Speed nutzt die MFC-basierte Gasströmungssteuerung, um prozesskritische Ein- und Ausgänge zu verwalten, um die stationären Bedingungen in der Kammer aufrechtzuerhalten. Dies ermöglicht Tests im Labormaßstab während der Entwicklung neuer Folien. Diese Maschine ist auch optimiert, um die Menge der elektrischen Energie verbraucht zu reduzieren, um sicherzustellen, dass die Energiekosten niedrig gehalten werden. Das Prozesssteuerungstool basiert auf fortschrittlichen Automatisierungsalgorithmen, die eine präzise Prozesssteuerung und hohe Zuverlässigkeit bieten. Es beinhaltet HMI-Technologie, in der Bediener den Prozess in Echtzeit mit Leichtigkeit überwachen können. Dieses Asset unterstützt verschiedene Wafergrößen und kann potenziell an die 3-Zoll-Batch-Verarbeitung angepasst werden. Dies bietet maximale Flexibilität und Skalierbarkeit in einer Produktionsumgebung. Concept 3 Speed eignet sich hervorragend für die Herstellung von High-End-CMOS- und MEMS-Geräten, da sich hochwertige Folien für den Einsatz mit Gerätestrukturen eignen. Darüber hinaus ist es aufgrund seiner fortschrittlichen Automatisierung, Skalierbarkeit und verbesserten Energieeffizienz eine zuverlässige Wahl für Hersteller und Forscher gleichermaßen. NOVELLUS Concept 3 Speed ist auf Geschwindigkeit, Qualität und Genauigkeit ausgelegt.
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