Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed #9263261 zu verkaufen
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ID: 9263261
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CVD System, 12"
Process: Nitride
Main frame (EFEM / TM)
Chamber A, B and C
AC Rack
RF Rack
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed ist ein werkzeugloser, modularer Prozessreaktor für die hochpräzise Prozessentwicklung. Dieses Gerät bietet eine schnelle, werkzeuglose Konfiguration, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Benutzerproduktivität zu maximieren. Mit seiner schnellen Prozesssteuerung, der schnellen werkzeuglosen Einrichtung und der Fähigkeit, Prozessrezepte schnell anzupassen und zu optimieren, bietet Concept 3 Speed eine risikoarme Fertigungslösung für die Entwicklung und Produktion fortschrittlicher Prozesse. NOVELLUS Concept 3 Speed ist ein vielseitiges Fertigungsgerät, das eine Vielzahl von Prozessen bedienen kann. Es ist mit einer breiten Palette von komfortablen Funktionen ausgestattet, wie: eine moderne, benutzerfreundliche Touchscreen-Benutzeroberfläche; mehrere Düsen zur sauberen und kontrollierten Abscheidung von Produkten; variable Durchflussregelungen für verschiedene Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Vakuum; Gleichstromsubstratvorspannung; und schnelles, sauberes Umschalten zwischen Prozessgasen, um die Produktivität zu maximieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Die modulare Architektur von Concept 3 Speed ermöglicht es Benutzern, das System mit anpassbaren Funktionen und Upgrades zu konfigurieren und zu erweitern. Seine modulare Bauweise ist auch in Bezug auf die Wartung von Vorteil - Ersatzkomponenten können schnell und einfach ausgetauscht werden, ohne auf Maschinenleistung oder Funktionalität zu verzichten. NOVELLUS Concept 3 Speed bietet zudem ein fortschrittliches, integriertes Überwachungs- und Datenerfassungstool, mit dem Benutzer kritische Prozessdaten in Echtzeit protokollieren und überprüfen können. Diese Ressource ist sowohl äußerst zuverlässig als auch hochgradig skalierbar und ermöglicht es Benutzern, Daten von mehreren Reaktoren und/oder Produktionsstandorten zu sammeln und zu speichern. Diese Daten können dann zur Überwachung der Prozessleistung, zur statistischen Prozesssteuerung und anderen wichtigen Entwicklungs- und Prozessentwicklungsaufgaben verwendet werden. Die erweiterten Konfigurationsoptionen von Concept 3 Speed ermöglichen eine präzise Kontrolle des gesamten Produktionsprozesses. Die robusten und zuverlässigen Systeme sorgen dafür, dass die höchste Produktionsqualität erhalten bleibt. Darüber hinaus ist NOVELLUS Concept 3 Speed mit seiner werkzeuglosen Konfiguration und dem schnellen, sauberen Wechsel zwischen Prozessrezepten eine ideale Maschine für die kostengünstige, präzise und schnelle Herstellung fortschrittlicher Prozesse.
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