Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Speed #9364308 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Speed ist ein hochinnovativer CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der auf verbesserte Verarbeitungsmöglichkeiten ausgelegt ist. Es ist ein revolutionäres Werkzeug für die Herstellung von integrierten Schaltungen und Halbleiterbauelementen. Concept 3 Speed verwendet ein rotierendes und stationäres Kathodendesign mit einem Wafer, das eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Abscheiderate bietet. Die fortschrittliche und flexible Cluster-Werkzeugarchitektur ermöglicht eine einfache Integration und maximale Koexistenz mit allen NOVELLUS-Systemen. Dieser CVD-Reaktor wird mit einem erweiterbaren Automatisierungsmodul geliefert, das ein hohes Maß an durchgesteckten und hochwertigen Verarbeitungsergebnissen bietet. NOVELLUS Concept 3 Speed verfügt über ein High-Flow-Gaspanel für verbesserte Produktivität. Es verfügt über zwei einstellbare gekippte Duschköpfe, die durch eine Vormischkammer ergänzt werden, die eine optimale Temperatur-, Druck- und Gasflussvarianzregelung bietet. Diese Technologie kann entweder mit einem Inline- oder einem Cross-Flow-Gasgemisch betrieben werden, was eine hervorragende Materialgleichförmigkeit bietet. Concept 3 Speed bietet zudem mit seiner integrierten Wärmequelle eine verbesserte Prozessstabilität. Diese Heat Source Equipment (HSS) verfügen über eine fortschrittliche tri-laminare Diffusionsplatte für eine gleichmäßige Wärmeverteilung, die optimale Materialkosten ermöglicht. Die einzigartige selbstreinigende Schiebeplatte von NOVELLUS Concept 3 Speed eliminiert die Möglichkeit des Partikelaufbaus und sorgt für einen konsistenten Prozessablauf. Darüber hinaus ermöglicht die automatisierte Offline-Prozessqualifizierung die schnelle Abstimmung von Beschichtungen und optimierte Folien-/Substrat-Schnittstelleneigenschaften. Die Performance von Concept 3 Speed wird durch das fortschrittliche Multi-Position Wafer Manipulation System (PWMS) verbessert. Diese Einheit unterstützt Wafernähte und Ringbelastungen und bietet Flexibilität im Wafer- und Precursor-Handling. Darüber hinaus erhöht das PWMS die Geschwindigkeit der Maschine, indem es die Bearbeitungszeit des Substrats reduziert. NOVELLUS Concept 3 Speed bietet unübertroffene Funktionen mit verbesserter Produktlebensdauer, verbesserter Prozessflexibilität und ertragsstarker Produktivität. Es ist eine kostengünstige und zuverlässige CVD-Reaktorlösung für Halbleiterbauelementehersteller.