Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Triple Speed #9237847 zu verkaufen

ID: 9237847
Wafergröße: 12"
HDPCVD System, 12" Main mini environment platform (3) Loader systems: ASYST IsoPort Handler system: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Wafer shape: SNNF (3) Exhausts: Bottom feed Cooling water: PCW User interface Windows NT Mainframe: Control system: Ethernet MF FAC Routing: Front, Through-the-floor Front end robot: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Load lock & Front end option: Load locks: C3 WTM Standard SWLL SECS / GEM Signal tower Pod type: 25 Wafers (2) FOUP BROOKS AUTOMATION Fix load 6M System controller: Controller type: Enhanced (NT) with HSMS & GEM Controller UPS: YES -FAC UPS INF Electrical INF: Bottom feed AC cables System EMO type: Push, Turn to release style EMO Guard ring option Transfer chamber: (3) PEC Stations Transfer chamber manual lid lift Robot blade: Dual blade with minimum contact Robot type: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Pumps: Fore-line heat trace: YES-105C Chamber A / B / C: Chamber type: SPEED HDP ILD Process kit: NanoFill II ESC: HEX ESC TEMP Monitor: ATC NTM Delta Manifold D orifice: 0.020" For long injector Manifold G orifice: 0.028" For short injector RF Generator HF: ADVANCED ENERGY APEX 10 kW RF Generator LF: ADVANCED ENERGY PDX 8000 8 kW Pedestal heights: 1.35" Dome matching network: High power dome Turbo screen: Louvered screen (2) Turbo pumps: LEYBOLD MAG2000 Pressure controller: Throttle valve: MKS 153D Manometer: MKS 10 Torr / 100 mT Pressure gauge: DATUM 2000 Dual CH Gate valve: VAT Pendulum valve Slit valve o-ring: CHEMREZ Nozzle: (6) Long & (24) Short injectors Missing parts: (3) 05-363589-00 / Retrokit, coulombic ESC (3) 796-212642-001 / VLV, VAC, VAT, Bonded K910 (3) 04-353972-00 / KIT, Pendulum valve, ISOLA Line voltage: 208 VAC / 60 Hz CE Marked.
NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactor ist ein Hochleistungs-Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) System, das auf die höchste Abscheidungsrate und Abscheidungsgleichmäßigkeit ausgelegt ist. Die dreistufige Stromversorgung ermöglicht volle und ausgewogene Kontrolle des Prozessdrucks, der Temperatur und der Reaktionspartnerlieferung, High-End-Mehrschichtenhalbleitergeräte mit ausgezeichneten Leistungseigenschaften erzeugend. Die Maschine ist mit drei hochwertigen Quarzrohren ausgestattet und verfügt über eine große offene Fläche für einen einfachen Zugang zur Wachstumszone. Die drei Motoren sind in derselben Ebene montiert, um eine ausgewogene und gleichmäßige Strömung der Prozessgase zu gewährleisten. Die Konstruktion der geschlossenen Kammer hilft, die Temperatur und den Druck im Reaktor aufrechtzuerhalten. Das patentierte Concept 3 Triple Speed unabhängige Netzteil ermöglicht eine schnelle und präzise Abscheidungssteuerung durch unabhängige Regelung der Temperaturen jedes Abscheiderohrs. Der vollautomatische Betrieb des NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reaktors und die leistungsstarke Abscheideregelung sorgen für einen batteriekonformen Prozess mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und minimalen Ausfallzeiten. Die mehrstufige Stromversorgung hilft dabei, die erforderlichen Temperatur- und Druckwerte aufrechtzuerhalten, während die fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware detaillierte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen bietet. Die Benutzeroberfläche der Frontplatte ist intuitiv und ermöglicht eine einfache Bedienung und Fehlerbehebung. Concept 3 Triple Speed nutzt einen hochgenauen Niederdruck-Quarzdurchflussmesser zur effizienten Gasförderung und präzisen Steuerung des Wachstumsprozesses. Die Netzteile verfügen über mehrere Betriebsmodi, so dass Bediener aus Einzel-, Doppel- oder Dreifachgeschwindigkeitsabscheidungsmodi sowie zwischen linearer und logarithmischer Steuerung zur genauen Abgabe von Prozessgasen wählen können. Darüber hinaus ermöglicht der untere Teil der Edelstahlkammer einen einfachen Zugang zu Proben, wodurch der Durchsatz der Ablagerung verbessert und die für die Probenentnahme erforderliche Zeit verkürzt wird. Das Ergebnis ist eine effiziente, zuverlässige und präzise dreistufige Stromversorgung, die jedes Mal optimale Ergebnisse liefert.
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