Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Triple Speed #9237847 zu verkaufen
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ID: 9237847
Wafergröße: 12"
HDPCVD System, 12"
Main mini environment platform
(3) Loader systems: ASYST IsoPort
Handler system: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Wafer shape: SNNF
(3) Exhausts: Bottom feed
Cooling water: PCW
User interface Windows NT
Mainframe:
Control system: Ethernet
MF FAC Routing: Front, Through-the-floor
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Load lock & Front end option:
Load locks: C3 WTM Standard SWLL
SECS / GEM
Signal tower
Pod type: 25 Wafers (2) FOUP
BROOKS AUTOMATION Fix load 6M
System controller:
Controller type: Enhanced (NT) with HSMS & GEM
Controller UPS: YES -FAC UPS INF
Electrical INF: Bottom feed AC cables
System EMO type: Push, Turn to release style
EMO Guard ring option
Transfer chamber:
(3) PEC Stations
Transfer chamber manual lid lift
Robot blade: Dual blade with minimum contact
Robot type: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Pumps:
Fore-line heat trace: YES-105C
Chamber A / B / C:
Chamber type: SPEED HDP ILD
Process kit: NanoFill II
ESC: HEX ESC
TEMP Monitor: ATC NTM Delta
Manifold D orifice: 0.020" For long injector
Manifold G orifice: 0.028" For short injector
RF Generator HF: ADVANCED ENERGY APEX 10 kW
RF Generator LF: ADVANCED ENERGY PDX 8000 8 kW
Pedestal heights: 1.35"
Dome matching network: High power dome
Turbo screen: Louvered screen
(2) Turbo pumps: LEYBOLD MAG2000
Pressure controller:
Throttle valve: MKS 153D
Manometer: MKS 10 Torr / 100 mT
Pressure gauge: DATUM 2000 Dual CH
Gate valve: VAT Pendulum valve
Slit valve o-ring: CHEMREZ
Nozzle: (6) Long & (24) Short injectors
Missing parts:
(3) 05-363589-00 / Retrokit, coulombic ESC
(3) 796-212642-001 / VLV, VAC, VAT, Bonded K910
(3) 04-353972-00 / KIT, Pendulum valve, ISOLA
Line voltage: 208 VAC / 60 Hz
CE Marked.
NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactor ist ein Hochleistungs-Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) System, das auf die höchste Abscheidungsrate und Abscheidungsgleichmäßigkeit ausgelegt ist. Die dreistufige Stromversorgung ermöglicht volle und ausgewogene Kontrolle des Prozessdrucks, der Temperatur und der Reaktionspartnerlieferung, High-End-Mehrschichtenhalbleitergeräte mit ausgezeichneten Leistungseigenschaften erzeugend. Die Maschine ist mit drei hochwertigen Quarzrohren ausgestattet und verfügt über eine große offene Fläche für einen einfachen Zugang zur Wachstumszone. Die drei Motoren sind in derselben Ebene montiert, um eine ausgewogene und gleichmäßige Strömung der Prozessgase zu gewährleisten. Die Konstruktion der geschlossenen Kammer hilft, die Temperatur und den Druck im Reaktor aufrechtzuerhalten. Das patentierte Concept 3 Triple Speed unabhängige Netzteil ermöglicht eine schnelle und präzise Abscheidungssteuerung durch unabhängige Regelung der Temperaturen jedes Abscheiderohrs. Der vollautomatische Betrieb des NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reaktors und die leistungsstarke Abscheideregelung sorgen für einen batteriekonformen Prozess mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und minimalen Ausfallzeiten. Die mehrstufige Stromversorgung hilft dabei, die erforderlichen Temperatur- und Druckwerte aufrechtzuerhalten, während die fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware detaillierte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen bietet. Die Benutzeroberfläche der Frontplatte ist intuitiv und ermöglicht eine einfache Bedienung und Fehlerbehebung. Concept 3 Triple Speed nutzt einen hochgenauen Niederdruck-Quarzdurchflussmesser zur effizienten Gasförderung und präzisen Steuerung des Wachstumsprozesses. Die Netzteile verfügen über mehrere Betriebsmodi, so dass Bediener aus Einzel-, Doppel- oder Dreifachgeschwindigkeitsabscheidungsmodi sowie zwischen linearer und logarithmischer Steuerung zur genauen Abgabe von Prozessgasen wählen können. Darüber hinaus ermöglicht der untere Teil der Edelstahlkammer einen einfachen Zugang zu Proben, wodurch der Durchsatz der Ablagerung verbessert und die für die Probenentnahme erforderliche Zeit verkürzt wird. Das Ergebnis ist eine effiziente, zuverlässige und präzise dreistufige Stromversorgung, die jedes Mal optimale Ergebnisse liefert.
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